新机来袭!德国非接触方块电阻测试仪样机限时体验
EddyCus® lab 2020 系列方块电阻测试仪样机是一款台式实验系统,它采用涡流技术,完美替代四探针方案,用于非接触式单点测量导电薄膜的金属层厚度和方块电阻。它能够快速、精确地测量zui大200 x 200 mm²(8 x 8英寸)样品,并支持多种材料,包括薄金属层、晶圆和导电聚合物等材料。
非接触式单点方块电阻测试仪提供了一种现代、无接触的传统四点探头(4PP)及其他接触式测量方法的替代方案。无需物理接触,无需表面准备,且不受封装或表面粗糙度的影响。
lab 2020 系列方块电阻测试仪能够测量多个参数。方块电阻与金属层厚度、发射率和电阻率相关。只要材料性质明确,所有这些参数都可以高精度测量。

测量参数:
金属厚度(nm, um)
方块电阻(Ohm/sq)
发射率
电导率/电阻率(mOhm·cm)
电各向异性(%)
重量 (g/m’) 和烘干状态 (%)
渗透性(H/m) Beta

四探针传统方法对比
| 对比维度 | 四探针测试 | 非接触电涡流测试(EddyCus) |
|
方案 |
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| 接触方式 | 触点式测量,触点质量影响结果 | 非接触式,实时无损 |
| 测量范围 | 单点测量,部分支持Mapping成像 | 高分辨率Mapping成像,支持在线过程控制 |
| 对样品影响 | 可能损坏敏感面,无法测量封装后薄膜 | 对敏感膜无伤害或伪影,可测封装膜层和多层膜系统 |
| 测量类型 | 仅支持单点方块电阻测试 | 支持多种膜层与系统测量 |
| 探头耐久性 | 探头随时间磨损 | 无磨损,使用寿命长 |
| 适用场景 | 适用于部分简单薄膜测量 | 适用于触摸型敏感层及多层膜系统等精密场景 |

Mapping图
应用场景

导电薄膜

触摸面板

导电纺织品

智能玻璃

电池电极

各类晶圆等
样机设备适配参数
| 基板面积 | 8 inch / 204 mm × 204 mm(三面开放) |
| zui大样本厚度 / 传感器间隙 | 3 / 5 / 10 / 25 mm(由zui厚的样本确定) |
| 方阻范围 | 0.001 – 3,000 Ω/sq |
| 方阻准确性/偏差 | ±1 – 3% |
| 方阻重复性 (2σ) | <0.3 – 3% |
|
金属厚度范围与精度 |
低:1 – 10 nm;精度 2 – 5 % |
| 标准:10 – 1,000 nm;精度 1 – 3 % | |
| 高:1 – 100 μm;精度 0.5 – 3 % | |
| (精度受设置及金属类电导率影响) | |
|
电阻率测量 |
3 mm线圈:1 – 100 mΩ·cm;精度 < 3%,重复性 < 0.3% |
| 9 mm线圈:1 – 1,000 mΩ·cm;精度 < 5%,重复性 < 2% | |
|
薄层电阻测量 |
3 mm线圈:0.01 – 10 Ω/sq;精度 1 – 3%,重复性 < 1% |
| 9 mm线圈:0.01 – 100 Ω/sq;精度 < 3%,重复性 < 0.3% | |
| 设备尺寸(宽 × 高 × 深) | 11.4" × 5.5" × 17.5" / 290 mm × 140 mm × 445 mm |
| 设备重量 | 10 kg |
设备控制和软件



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体验时间:即日起至2026年2月10日
体验形式:寄样测试(上门测试限部分地区)
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