先进制程带来的制程微缩和集成架构的复杂化，对聚焦离子束显微镜在高质量失效分析与高精准TEM制样等核心需求上提出了严峻挑战，这对设备的分辨率、实时观察能力、自动化效率都提出了苛刻的要求。

蔡司深耕显微技术领域，近期重磅推出Crossbeam 750 聚焦离子束扫描电子显微镜，专为高质量失效分析与高精准TEM制样量身打造。三大核心技术：全新的Gemini 4电子光学系统、升级的“HDR”实时观察技术、全面革新的控制软件，可以为您带来更稳定、更准确、更高效的设备使用体验，是先进制程半导体领域的新选择。
 
四大特点：

01分辨率再突破：全新的Gemini 4电子光学系统特别优化了样品台大角度倾斜状态下的成像能力，在共焦点和样品台大角度倾斜的状态下，就可以直接在制备的截面上原位获得极高质量的表征结果。

FIB制备5nm SRAM截面的直接形貌衬度(左)与元素衬度(右)同时成像(共焦点，样品台倾转54°)

02 “HDR”实时观察：升级的“HDR”实时观察技术进一步提升了蔡司实时观察的分辨率和信噪比，可以让您在离子束加工过程中随时看清纳米结构的最新变化，实现微小ROI的精准最终定位，全程无需暂停加工，让整个流程连续、准确、高效。


3nm GAA，利用“HDR”实时观察技术准确制备包含ROI的TEM样品
离子束加工过程中的实时电子束图像（上）；最终结果的TEM低倍图像（中）；最终结果的TEM高倍图像（下）
 
03软件革新：全面革新的控制软件优化了底层逻辑，大幅简化了操作界面，使用更省心，运行更稳定，能够带来更优质的使用体验。

全新ZEN Core EM 软件界面
 
04自动化流程：相比于手动制样的耗时耗力，自动样品制备，特别是高通量的自动化TEM 样品制备对提升聚焦离子束日常使用效率越来越重要。Crossbeam 750 可以为包含TEM制样在内的多种样品制备需求提供速度快、自动化程度高、稳定性好、成功率高的解决方案，可实现设备的长时无值守自动运行。
 
从核心技术突破到软件流程优化，再到硬核参数加持，蔡司 Crossbeam 750 聚焦离子束扫描电镜以全方位的性能升级，精准应对先进制程节点对精准度、效率及稳定性的严苛需求，为高质量失效分析与高精度TEM制样提供了一体化的理想解决方案。
 
 
关于蔡司集团
蔡司是全球光学和光电领域的技术先锋。在2024/25财年，蔡司集团的全年营收达近120亿欧元，覆盖工业质量与研究、医疗技术、光学消费品、半导体制造技术四大业务部门。目前，集团收入的15%用于科学和研发。
蔡司致力于为客户开发、生产和销售前沿创新的工业测量及质保解决方案，针对生物及材料科学领域的显微镜解决方案，以及应用于眼科及显微外科诊疗的医疗技术解决方案。蔡司也是全球光刻技术的行业标杆，其技术被芯片行业应用于半导体元件的制造。除此之外，蔡司品牌的眼镜镜片、相机镜头及望远镜等创新产品也适销全球。
凭借着符合数字化、医疗保健及智能制造等未来发展趋势的产品组合，以及强大的品牌效应，蔡司正在塑造光学及其他相关领域的未来。蔡司在研发方面进行的可持续且大量的投入，为技术的不断发展、市场的持续扩张和公司的未来成功都奠定了坚实的基础。
如今，蔡司集团在全球约50个国家拥有约46,600名员工。集团总部位于德国奥伯科亨,卡尔蔡司股份公司由卡尔蔡司基金会全资所有，后者在德国致力于积极促进科学发展。
 
蔡司大中华区
蔡司于1957年进入中国，目前在大中华区覆盖半导体制造技术、工业质量解决方案、研究显微镜解决方案、医疗技术、视力保健和消费者光学所有业务领域。2021年起，中国已成为蔡司在全球最大的单一市场，也是最具创新活力、增长最快的市场之一。在2024/25财年，蔡司大中华区营收达161亿元人民币。蔡司在大中华区共有7,000余位员工，分布于各地的60余个生产基地、销售与服务中心及研发中心，为本地客户提供强有力的支持，也为全球各相关业务提供生产保障。
蔡司大中华区总部位于上海自由贸易试验区，设有销售服务总部、应用服务与培训中心、蔡司工业测量部生产工厂及蔡司集团在德国以外的首个企业级创新研发中心。位于上海的蔡司大中华区总部及创新研发中心，协同苏州研发制造基地、广州知识城制造基地，逐步形成以医疗器械、高端制造研发设备及光学镜片为主的产业链闭环，全面支持中国本土研发与生产，携手本地合作伙伴共享高端产业可持续、高质量的发展机遇。
更多信息，请参见蔡司中国官网：www.zeiss.com.cn
 
蔡司研究显微镜解决方案
蔡司研究显微镜解决方案是光学、电子、X射线显微镜系统的一站式制造商，并提供基于人工智能技术的软件解决方案。应用领域涵盖生命科学研究、生物技术与制药、材料研究、工业半导体、教育和临床。
更多信息，请参见蔡司显微镜官网：http://www.zeiss.com.cn/microscopy
蔡司显微镜官方微信公众号：