锂电真空烘箱与硅片无氧烘箱的应用区别
锂电真空烘箱与硅片无氧烘箱都是锂电、新能源行业常用的两种烘烤设备，首先我们分别来介绍以下这两种烘箱。
1.锂电池真空烘箱：

锂电池真空烘箱多用于锂电池制造工艺中的电池极片涂布前的干燥除湿，属于真空烘箱的一种，其工作原理是利用真空负压状态下，水的沸点降低，再常温的环境下即可气化，然后通过真空泵将水汽抽走，从而达到低温快速除湿的目的，从字面上来理解，就是低温、快速除湿，这两个特点，当然，真空状态下，由于没有空气，自然也就没有了氧气，氧含量极低，可以做到10ppm以下，因此，很多无氧烘烤的工艺中，也可以采用真空烘箱来操作。

2.硅片无氧烘箱：
硅片无氧烘箱一般应用于光伏制造行业、半导体芯片制造、封装、封测以及OLED等工艺制程，其工作原理是通过氮气置换空气的方法，将烘箱内的氧含量降低至10ppm以下，由于其工艺制程对于烘箱的控温性能、温度均匀性等要求比较苛刻，比如制程工艺一般都是纳米级，集成度较高，因此，硅片无氧烘箱内部配有鼓风装置，配合特殊设计风道，从而实现温度均匀的无氧温场，以此来实现性能均一，良率较高的大规模批量生产，由此看来，硅片无氧烘箱隶属于鼓风充氮烘箱的一种。
3.锂电池真空箱与硅片无氧烘箱的区别。
由上边1。2条的二者的工作原理不难得出区别，锂电池真空烘箱属于真空烘箱，硅片无氧烘箱属于鼓风烘箱，真空烘箱由于需要实现真空环境，需要配置真空泵，可实现真空无氧，而硅片无氧烘箱属于鼓风充氮烘箱，需要充入氮气来实现无氧环境，这也就意味着硅片无氧烘箱需要消耗大量氮气，而锂电池真空烘箱则不需要氮气也可以实现无氧烘烤，当然，真空烘箱相较于鼓风充氮烘箱来说，其温度的上限，控温的精准性，升降温速度，温度均匀性都有较大差距，因此锂电池真空烘箱多用于低温烘烤（200℃以下），温度均匀性要求不高的工艺，而鼓风充氮烘箱（硅片无氧烘箱）温度范围应用更为广泛（60~600℃），且功能性更为强，尤其是半导体胶水固化的复杂多段升降温工艺制程中，被大量应用，当然随着技术的不断发展，为满足更为苛刻的新材料工艺要求，目前市场上也出现了更为复杂，功能性更强的 复合型无氧真空充氮烘箱，其结构为真空烘箱与鼓风充氮烘箱二者相结合，既能实现<10pa的真空烘烤，亦带有鼓风充氮装置，实现温度范围更加宽泛，温度均匀性更好的无氧烘箱。