OLS5100 3D测量激光显微镜以纳米精度赋能半导体光刻制程革新
2025-06-10 来源:本站 点击次数:441
奥伟登（Evident）LEXT OLS5100 3D测量激光显微镜重磅赋能半导体光刻领域！融合纳米级测量精度与智能自动化技术，突破散射光干扰与微小结构检测瓶颈，为光刻胶厚度控制、蚀刻图案验证及缺陷分析提供全流程解决方案，助力先进制程良率跃升与工艺创新。
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