双喷墨技术在实现柔性精细电路无掩膜制备中的应用
2026-09-10 来源:本站 点击次数:51

柔性电子作为下一代智能穿戴、医疗传感、折叠终端的核心赛道,精细柔性电路制造是产业化关键卡点。传统光刻减材工艺掩膜成本高、材料损耗大,难以适配 PET、PI 等柔性薄膜基材。上海睿度光电融合自研 EHD 电流体动力喷墨、压电喷墨两大微纳喷射技术,搭配三轴精密运动平台,推出柔性精细电路数字化直写打印方案,以无掩膜增材制造方式,破解超细线路成型难题,加速国内柔性电路研发与小批量量产落地。
一、双打印技术组合,覆盖不同精度柔性电路需求
睿度采用 EHD 电流体喷墨 + 压电喷墨双路线协同方案,兼顾超高精细线路与大面积稳定打印。EHD 依托电场形成泰勒锥喷射,突破喷嘴口径限制,可实现亚微米级超细导电线路成型,适配高粘度纳米银、碳基等功能墨水,最小线宽可达1μm,适合高密度柔性阵列微电路。压电喷墨则以皮升级墨滴精准控制,保障大面积图案均匀性,生产稳定性强,用于常规微米级柔性布线。两套打印头可按需切换,满足从微电极阵列到大尺寸柔性线路的多样化研发需求。
二、三轴精密运动平台,保障柔性基材打印定位稳定性
整套系统搭载高精度三轴运动平台,X/Y/Z 三轴协同定位,定位精度可达微米级,可在 PET、PI、TPU 等薄型柔性基底上完成无接触沉积。柔性薄膜易拉伸、形变,三轴平台支持动态补偿,降低基材形变带来的套印偏差,多层线路叠加打印时图案对齐精度可控。非接触式喷射避免机械压力损伤超薄柔性膜,打印后的电路反复弯折后导电性能保持稳定,适配可穿戴传感器、柔性触控膜等产品的可靠性测试要求。
三、无掩膜数字化直写,降本提速柔性电路开发
区别于传统 FPC 光刻蚀刻工艺,睿度这套柔性电路打印方案无需掩膜,CAD 图案直接输出打印,极大缩短样品迭代周期。研发阶段修改线路版图无需重新制版,大幅降低新品研发成本;增材制造仅在目标区域沉积导电墨水,减少贵金属材料浪费。方案适配实验室研发、小批量试产,帮助柔性电子企业快速验证材料与电路结构,缩短从原型到量产的工艺验证周期。
当前国内柔性电子产业快速崛起,精细柔性电路的国产化制造能力持续受到市场关注。睿度依托多年微纳沉积技术积累,将 EHD、压电喷墨与三轴精密平台深度集成,为柔性传感器、可穿戴医疗设备、柔性显示等领域提供一站式精细电路打印解决方案。后续睿度将持续优化设备工艺与墨水适配能力,推动国产微纳打印设备在柔性电子产业化进程中持续突破,助力国内印刷电子产业链自主升级。
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