在体视显微镜观察中，照明并不仅仅决定样品“够不够亮”，更直接影响表面纹理、裂纹、孔洞、轮廓和内部结构能否被准确识别。其本身照明的方式、角度等不同参数产生的不同的照明方式会在同一样品下均获得不同的成像效果。

针对不同类型的样品，徕卡提供了多种具有针对性的照明方案：

环形灯照明 RL

可在大视野下提供明亮、均匀的光线，适合常规观察；搭配匀光器和起偏镜组后，还能减少金属等反光样品表面不需要的眩光与亮点。环形灯可全开，或者开一部分区域，对于相同位置样品均可获得不同形态的效果，如图所示。

环形灯+偏光

额外的偏光模块可以消除样品表面的反光现象，如图所示。

同轴照明 CXI

对于晶圆、光滑表面以及精细隐裂纹， 将光线经由光学系统导入并由样品表面反射，有助于呈现细微缺陷。适用于检查精细隐裂纹和光滑和反光样品的表面。

近距离垂直照明（NVI）

面对凹口、深孔或具有一定深度的结构，近距离垂直照明NVI能够提供无阴影照明，减少结构遮挡造成的观察盲区。

看得更亮，并不等于看得更清楚

真正有效的显微观察，来自光线与样品之间的精准匹配。选择适合的照明方式，让每一个需要被发现的细节，都获得恰到好处的呈现。本文章介绍了部分体视镜的观察方法，适用于不同的样品表面类型。为了更好的满足中国客户需求，如果您有样品需要测试，请联系徕卡专业的售前支持团队，谢谢。

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