新开发的强激磁锥状镜∶为获得高分辨率,一般使用穿透型电子显微镜的物镜作为里镜,但这只能限于小试样。日本电子公司最新开发的强激磁锥状镜,实现了能以更高的分辨率来观察更大的试样。可保证以15V观察1.0nm、以1kV观察2.2nm试样的高功能物镜。试样室是能应对最大直径达200mm试样的大型试样室。另外,试样移动装置是按标准的X、Y、旋转3轴都通过电脑控制的马达驱动式的,因此提高了视场查找的效率。
冷阴极电场放射型电子枪(冷FEG)∶由于放射电子的能量范围很小,因此冷FEG适于超高分辨率的观察。另外,因为是在常温下工作,所以可期待其耐用时间能长达几年。
按试样大小来调节照射试样电流∶JSM-6700F电子光学系统,不改变物镜光圈即可获得从1pA到1mA范围大的高分辨率。若试样处于类似因 电子束照射易受损的情况下可把电流调小;而试样较结实的情况下可使用大电流,这样不破坏图像的分辨率就能选择最合适的照射试样电流。利用EDS分析,使用大电流也不会损坏图像的锐度。
稳定的照射试样电流∶进一步处理好电子枪室的真空环境,就可提高照射试样电流的稳定性。利用精确度高的EDS分析即能实现。
不需调轴的电子枪和镜头系统∶因采用了日本电子公司研制的锥状电极型电子枪,用户不需调轴。可以容易地选择适于试样或信息的观察条件。
主要规格
分辨率: 保证1.0nm (加速电压15kv)
保证2.2nm(加速电压1kv)
加速电压: 0.5~30kv
放大率: x100~650,000(SEM模态)
x25~19,000(LM模态)
试样室: 200mm试样用大型试样室