光刻机/紫外曝光机（单、双面光刻）
1．技术参数
l 曝光面积： 100 mm×100mm（可升级为150 mm×150mm）
l 分辨力：1.2mm（胶厚2 mm的正胶）
l 对准精度：±3mm（双面，片厚0.8mm），±0.8mm（单面）
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 样片尺寸：直径f30mm--f100mm（f30mm--f150mm）
厚度0.1mm--3mm(双面) ，0.1mm--6mm(单面)
l 照明均匀性： ±4%（ f100mm 范围）
±7%（ f150 mm范围）
l 掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 汞灯功率：350W（直流）
l 曝光方式：定时（倒计时方式）
2．外形尺寸：1300mm（长）´900mm(宽) ´1800mm（高）
3．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l 350 W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
l XYZ汞灯调节台
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（77个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
l 冷却风扇
（2）对准工件台
¨掩模样片相对运动台
¨转动台
¨样片调平机构,自动完成
¨样片调焦机构，气缸自动调
¨承片台3个（2英寸、3英寸、4英寸）
l 掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
¨掩模抽拉式上下机构
（3）双目双视场对准显微镜（可以选择带CCD型，目镜和监视器可同时观测）
¨光源、电源
¨双目双视场对准显微镜主体
¨目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
¨物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
¨CCD光学系统（选配件）
¨XYZ底面对准工件台
（4）底面CCD对准系统
¨光源、电源
¨成像光学系统
¨数据采集卡
¨CCD
（5）电控系统
¨汞灯触发电源(350W直流汞灯)
¨单片机控制系统
¨控制柜桌
¨计算机系统（21英寸宽屏液晶显示器）
（6）气动系统
¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
¨电磁阀驱动
¨气动仪表
（7）其他附件
¨真空泵一台
¨空压机一台
¨管道
（8）技术资料
¨使用维修说明书
¨显微镜使用说明书
苏州汶颢芯片科技有限公司是一家留学人员回国创业的高新科技企业，集研发、生产、销售为一体，技术力量雄厚，生产设备先进，检测手段齐全，产品质量过硬。公司建立了完备的微流控芯片研发与生产中心，配置了三条微流控芯片生产线，包括数控CNC微加工仪器，软刻蚀有机芯片加工系统，光刻-掩模无机芯片加工系统，可以加工生产所有材质的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。产品涵盖集成式通用医疗诊断芯片、集成式通用环境保护分析监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片和基于微流控芯片的新能源体系四大系列数十个品种，以及各类科研类芯片，并在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的领先地位，已申请了18项国家发明专利。
苏州汶颢芯片科技有限公司提供的产品和服务按市场可分为科研类芯片、仪器标配芯片、应用类芯片及系统和芯片实验室解决方案。科研类芯片服务于基于微流控芯片的科研工作者，提供包括聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、玻璃及硅基等各种不同材质的微流控芯片的设计与制备，用户只需配置必要的辅助设备即可使用；仪器标配芯片是针对国内市场上微流控芯片仪器开发的标准芯片，为微流控芯片仪器的核心组件，属耗材类产品，如毛细管电泳芯片；应用类芯片及系统是利用微流控芯片的技术优势开发的分析检测装置，应用于环保、食品安全、药物筛选等领域；芯片实验室解决方案为客户提供完整的一对一的微流控芯片科研或应用的解决方案，分为产品和科技咨询两个方面：产品包括微流控芯片加工、检测仪器设备配置及微流控芯片配件配置；科技咨询为客户提供组建芯片实验室的整体方案、解决微流控芯片应用中的技术难题、微流控芯片项目研发服务等。
苏州汶颢芯片科技有限公司总部设在苏州市工业园区方洲路128号中国科学院纳米产业化基地，在北京、天津、上海等地设立了分公司。公司现有员工20多人，均有本科以上学位，其中研发人员8人，中高级职称10人，具有博士学位人员5人，其中4人有海外学习和工作背景，2人具有MBA学历，1人具有国家注册会计师资格。
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