电镜耗材-电镜校正标准样品系列
多功能透射电镜测试标样 |
衍射标样(相机长度校正)
利用透射电子显微镜在选区模式时显示的相机长度计算晶体的晶面间距是不精确的,真实的相机长度需要在相同电压和物镜条件下通过已经标定晶面间距的标准样品来校正。一般标样蒸镀在铝薄膜上,利用微晶产生的衍射环来标定TEM相机长度。样品在3.05mm,200目铜网上。
TEM放大倍率校正衍射光栅标样
STEM放大倍数校正标样
在直径为0.204µm的乳胶颗粒上喷金,金形成分散良好的颗粒,为STEM提供了较合适的测试目标。利用这些喷金乳胶颗粒对STEM进行放大倍数和分辨率的校正。样品在3.05mm的铜网上。
分辨率测试标样
像散校正标样
晶格平面分辨率检验标样 |
SEM像散校正/分辨率确定标样 此标样易于获得清楚、明锐、高衬度的图象,便于像散校正和检测分辨率。明锐棱角的金颗粒附着在1000目的铜网上,可根据扫描电镜型号的不同选择标样及所带的样品台。也可根据用户需要定做适用于样品台的样品。
P640-A/B/C/D/E/F/G/K/L/M/O/P像散校正标样,分别适于样品台A、B、C、D、E、F、G、K、L、M、O、P等型号
碳/一氧化硅网状格栅标样
线间距:2,160 lines/mm。 可根据扫描电镜型号的不同选择标样及所带的样品台,也可根据用户要求定做。 单晶硅标样
单晶硅标样,5mm x 5mm。可用于检查SEM、LM放大校正图像扭曲度。每10µm (0.01mm)有一方格。格与格之间分割线大约为1.9µm宽,由电子束形成。每隔500µm有一稍宽的分隔线,用于光学显微镜检测。分隔线和方格使用蚀刻法,约2µm宽200nm深。不同标样均可以安装在单晶硅检测标样上,可对电镜进行内部标定。可根据扫描电镜型号的不同选择标样及所带的样品台。
双联琼胶铜标样
适用于SEM和低倍透射电镜放大倍数校正,也可用于低倍光学显微镜。
CP631-A :1000筛目有50%的开放区域(open area),测量标准:中心距25µm孔径19µm肋宽7µm.。3mm双联栅格上有1000筛目琼胶。
CP631-C:2000筛目有36%的开放区域,测量标准:中心距12.5µm孔径7.5µm肋宽5µm。3mm双联栅格上有2000筛目琼胶。
SIRA 检测标样
SIRA采用金属网格在60mm2区域上。用于低倍放大时线间距为19.7lines/mm,用于高倍放大校正时线间距为2160lines/mm。
SEM低放大倍数分辨率检测标样 碳基底锡球检测标样
用于扫描电镜和光学显微镜低倍放大倍数的检测,特别适合检测图象的质量、扭曲、衬度、亮度和束的尺寸。可根据扫描电镜型号的不同选择标样及所带的样品台。
锡球粒径范围:1-10µm
放大倍数范围:250-5,000X
碳基底金球检测标样
分散较好的大金颗粒为检测提供了完美的结构,用于扫描电镜和高倍光学显微镜分辨率的检测,可根据扫描电镜型号的不同选择标样及所带的样品台。
金颗粒粒径范围:0.1-1µm
放大倍数范围:800-10,000X
SEM中等分辨率检测标样 碳基底盘锡检测标样
SEM中等分辨率检测标样 锡球分散在碳基底上,从而测定出粒子间可测的最小间距。锡球直径是散光校正的理想尺寸,可用于像散校正和分辨率检测。特别推荐用于半导体工业实验室等金粒子不适用的地方。但注意碳锡测试样本非常易碎,比碳金测试样本使用难度大。此标样可粘在各种型号的样品台上提供。
CP622 锡球粒径范围:10-40nm
CP636 锡球粒径范围:3- 60nm
碳基金标样
SEM高放大倍数分辨率检测标样 碳金测试样本通常是将金原子镀膜在厚度约2mm的基质上,在中高度分辨率测试中,不同大小的金粒子会产生不同的间隙。金原子的高原子序数和高次级电子发射性能使其成为SEM和场发射扫描电镜(FESEM)分辨率校验的理想样本。
扫描电镜分辨率的测定采用标准,名义分辨间距和图像上灰线的数量相结合的方法。确保分辨率不会因对比最大可见边缘而导致不准确。高分辨的图像能通过一系列灰线水平显示出完美的细节而没有明显的噪音。
标称粒径范围:
CP617-1:5nm-150nm
每个标样有一方形网格,中央有一较大的晶体,并在每一网格的边缘有很好的晶形。因此中或高分辨率测试可同时在一个样品上进行。
CP617-2 :<3nm-50nm
特别适用于评价高分辨SEM图像质量,放大倍率至少在80000X才能清晰分辨出金颗粒。
CP671-3 :<2nm-30nm
用于超高分辨率测试,此标样有更小的金颗粒,放大倍率在100,000X以上。
扫描电镜能谱检测标样 X-Checker性能校验装置是一个标准的1" (即25.4 mm)金属装置,它可以应用于任何型号的扫描电子显微镜(SEM),监测SEM/X射线能谱仪(SEM/EDS)系统性能,在铝管内含有一系列标准物质,可在锰或镍上确定探测器的分辨率(即最大半峰宽)和能量标度,检查窗口是否玷污,检测原子序数小的原子灵敏度,校准图像分析软件。可在铝、铜上校准光谱,提供的碳可在光谱最低值校准窗口探测器。
CP602-2样品中加入硼、镍可以更灵敏地对窗口探测器和无窗探测器进行低能量光谱校准。
此校验装置可对EDS(Energy Dispersive Spectrometer)和SEM以下性能进行校验。
1) 铝和铜的光谱校准
2) 碳和铝的低能量光谱校准
3) 锰的最强峰的半峰宽分辨率测量
4) 低能量灵敏度测试(用于检查探测器窗口污染程度)
5) 高、低放大倍率的两种镍栅格(用于校准图像处理软件和放大倍率)
6) 背散射电子探测器
7) 氮化硼检测光谱低能量端的性能
8) 氟源(PTFE)检测光谱低能量端的分辨率
9) 铍(Be)栅格检测高效探测器低能量端的灵敏度
10) 内置的法拉第杯
规格:
测量误差:±5%。
样品台基底:铝。
尺寸:
周长:1"或25.4 cm;高:7.5 mm)
镍载网孔径规格:40 μm x 40 μm、18 μm x 18 μm
地址:北京市海淀区中关村北二条13号5号楼212、215室(中国电镜学会楼二层) 通讯:北京2724信箱 邮编:100190 联系人:郭新勇 手机:13426021977 电话:+86 10 62559621/62557172 传真:+86 10 62652902 全国免费电话:400-711-9621 Email: zjky@emcn.com.cn 网址:www.emcn.com.cn
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