气体质量流量计(MFC)
气体质量流量计(MFC)
供应气体质量流量计,主要品牌有美国BROOKS,日本Fujikin。气体质量流量计具有:较高精度、快速响应、性价比高、零漂低等特点。不仅满足半导体、微电子、玻璃镀膜、太阳能电池等行业,还可以满足钢厂、电厂、石化等行业的要求。
规格:
量程:10SCCM-500 SCCM,1SLM-50SLM
阀门种类:常闭
流量控制范围:2%-100%F.S.
流量精度:±1%F.S.
流量输出信号:0-5VDC
响应速度: ≦1sec
最大压力:1Mpa
接口方式:1/4”VCR, 1/4”卡套
北京邦联成科技有限公司
我公司经营高纯气体管路工程施工、特气柜的设计、制作及安装、尾气处理设备、气体纯化器、气源柜减压阀、隔膜阀、气瓶接头、VCR接头、焊接接头、不锈钢电抛光管、球阀、针阀、单向阀、卡套接头、PFA软管、PFA接头、PFA阀门、超纯全氟密封圈,同时承接高纯气体管路工程施工、特气柜的设计、制作与安装,BROOKS质量流量计,PECVD燃烧水洗式尾气处理。欢迎来电咨讯!希望能与您结成忠实的合作伙伴,竭诚为您服务。
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