极紫外EUV/软X射线光源
极紫外EUV/软X射线光源
无电极Z-Pinch技术
各种文献表面Z-Pinch等离子体能有效地产生极紫外光和软X射线，但是到现在为止都是使用电极将高放电电流导入等离子 体中。电极一般都要与高温等离子体接触，可能熔化并产生很多残留碎屑。
Energetiq独特的技术也是基于Z-Pinch等离子体，但是却完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到最低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。
EQ-10HP是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10HP EUV光源特别适合计量学和研究应用。EQ-10HP工作的输入功率显著高于之前的型号且亮度也显著提高，使之适合于诸如EUV掩膜检测的成像应用。EQ-10HP光源的模块化设计使之很容易集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空和气体子系统、功率输出子系统和控制电路。EQ-10HP可以在2π球面度输出高达20W的EUV功率，并以高达2.5kHz的脉冲重复频率连续运行。
性能
1.使用氙气在2π球面度输出20W
2.高达2.5kHz脉冲重频率
3.小等离子体尺寸
4.低残留
5.低成本
6.氙气流速低
7.将消耗成本降至最低
8.占地面小
可靠性
1.无电极Z-Pinch专利技术
2.符合CE标志和SEMI S2-0703
应用
1.EUV掩膜检测
2.EUV度量学
3.耐EUV开发
4.EUV显微学
EQ-10HR是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10HR高重复率EUV光源特别适合要求大批量生产模拟的计量学和研究应用。EQ-10HR EUV光源为一个独立系统，可以直接集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空泵子系统、功率输出子系统和控制电路。
性能
1.10kHz重复率
2.小等离子体尺寸
3.低残留
4.低成本
5.氙气流速低
6.将消耗成本降至最低
7.占地面小
可靠性
1.无电极Z-Pinch专利技术
2.符合CE标志和SEMI S2-0703
应用
1.EUV光学元件测试
2.EUV计量学
3.耐EUV开发
4.缺陷检测
5.EUV显微学
EQ-10是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10 EUV光源特别适合测量学和研究应用。EQ-10 EUV光源的模块化设计使之很容易集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空和气体子系统、功率输出子系统和控制电路。EQ-10可以在2π球面度输出高达10W的EUV功率，并以高达2KHz的脉冲重复频率连续运行。
性能
1、使用氙气在2π球面度输出10W
2、高达2KHz脉冲重频率
3、小等离子体尺寸
4、低残留
5、低成本
6、氙气流速低
7、将消耗成本降至最低
8、占地面小
可靠性
1、无电极Z-Pinch专利技术
2、符合CE标志和SEMI S2-0703
应用
1、EUV度量学
2、耐EUV开发
3、缺陷检测
4、EUV显微学
EQ-10SXR是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氮气的无电极Z-Pinch技术。
EQ-10SXR组成包括一个19英寸机架，包括气体亚系统、功率输出系统和控制电路；集成真空泵的无电极Z-Pinch光源组装；和一个高效率脉冲调制器。模块化设计使之很容易集成到显微镜或其它应用设备中。
EQ-10SXR可以在2π球面度输出高达400mW的2.8nm波长功率，并以高达2kHz的脉冲重复频率连续运行。
为了满足不同设备的应用要求，用户可以调节光源的工作条件，用户可以调到最高功率最高亮度。在典型工作条件下等离子体尺寸一般小于1mm直径。用户可以通过彩色触摸屏操作，可手动和自动工作。EQ-10SXR很好安装，要求电源、冷水机、净化压缩空气和高纯氮气源。
特点
1、使用氮气产生2-4nm软X射线
2、等离子体直径小于1mm
3、性价比高、结构紧凑
应用
1、水窗显微镜
2、细胞微光束探测
热线电话：0571-88077926
邮箱：info@spl-tech.cn
杭州谱镭光电技术有限公司(Hangzhou SPL Photonics Co.,Ltd)创立于2008年，经过公司同仁共同的的努力和发展，公司在光谱仪器、激光器系统及配件，生物光学和量子光学等领域和应用有非常多的经验和解决方案，同时也组建了一支专业的销售和服务团队。
公司秉承专业服务客户为上的目标，一直严格要求，以尽善尽美为工作方向，和客户一起前行。目前公司在光谱仪器和激光检测系统方面有自己的研发能力，开发出了便携式土壤重金属分析仪（LIBS）、便携式红宝石标压系统、显微拉曼测量系统等。同时公司时刻关注全球最新最前沿的技术和产品，目前代理包括微型光纤光谱仪、红外光谱仪，飞秒激光器，纳秒激光器，可调谐激光器，窄线宽激光器，He-Ne激光器等各种激光器和配件。同时代理各类光电检测设备，包括功率计、能量计、光束质量分析系统、脉宽测量探测器和自相关仪、偏振态测量系统。还有代理各类光学配件，包括光学元器件，位移系统，滤波片。
目前公司主要代理品牌如下：
美国海洋光学Ocean Optics：微型光纤光谱仪，光谱系统和配件；
美国CEO：激光二极管，二极管侧泵模块，各类纳秒激光器，激光控制器；
奥地利Montfrot：适用于便携的超紧凑纳秒高能量激光器，大功率皮秒、飞秒激光器；
立陶宛Integrated Optics：超紧凑稳定的半导体和DPSS激光器；
美国Lighthouse：高功率连续固体绿光激光器
美国DataRay: 光束质量分析系统及配件；
德国CarbonVision：高品质碳纤维面包板及定制产品；
丹麦DFM：单频激光器；
德国GRINTECH：自聚焦透镜、生物医学用定制透镜系统；
法国IRISIOME:皮秒可编程调谐激光器；
德国LIOP：超稳定高精度光学调整架及光机械产品；
德国MRC：光束自稳定系统；
立陶宛QLI：高能量紧凑风冷纳秒激光器，可五倍频到213nm；
ProSP：各类定制显微光谱测量系统；
法国Femtoeasy：自相关仪，FROG
德国ALPHALAS：光电探测器
德国BATOP：可饱和吸收体SESAM
德国Schäfter + Kirchhoff：光纤准直器，偏正态测量仪SK010PA-…
美国NOIR：激光防护眼镜
苏格兰Skylark：单频连续激光器；
德国Stuttgart Instruments：频率转换系统，高精度的红外光源，超快高功率锁模飞秒振荡器；
丹麦NLIR：中红外光谱仪，单波长探测器，光源；
立陶宛Litilit：工业级飞秒激光器，飞秒光纤激光器，超短脉冲光纤种子光源；
瑞士Glucoloop：中红外纳秒激光器，高能中红外纳秒激光器；
加拿大DAYY：单通道超发光二极管光源，多通道超发光二极管光源，放大自发辐射光源，宽带可调谐外腔激光器。
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