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Instec 圆形高低温晶元夹盘系统

基本信息
产品名称:
Instec 圆形高低温晶元夹盘系统
英文名称:
国产/进口:
进口
产地/品牌:
美国Instec
型号:
HCCx0xRx
参考报价:
总点击数:
1084
更新日期:
2015-04-21

性能参数

Instec高低温晶圆夹盘——来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置

 

 

圆形夹盘

高低温晶圆夹盘系列

 

 HCC-R [原始大小]
 

 

功能特点

 

可编程精密控温

超低的盘面温度梯度

独立的上盘面真空气槽,用于固定多种尺寸晶圆

尺寸超薄,可集成进探针台

支持顶杆孔

三轴(可选),用于防漏电

卡盘台面不接地

下盘面真空吸气槽(可选)

适用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圆

 

配件配置

 

高低温晶圆夹盘

任选1台

mK2000温度控制器有USB/IEEE等接口供选

制冷系统

液氮泵

详询上海恒商

 

液氮罐

容量2L/10L/30L

 

水泵冷却外壳防止过热,并可加速自然冷却

 

*注:”√”表示出厂配置中包含此项。详询sales@hsinstrument.com

 

 

技术参数

 

温度分辨率

0.001℃(at 100℃)

温度稳定性

±0.05℃(at 100℃)

温度均匀度

±0.1℃/cm可升级均匀性

最小控温速度

±0.1℃/小时

传感器/控制算法

100Ω铂质RTD

PID控制可选线性直流电源

表面光滑度

10 µm(常温下)

*注:1、表中制冷数据为使用LN2-P4液氮泵时的表现,液氮泵型号不同,制冷表现也会有差异,请悉知。

2、性能可变通,详情请联系sales@hsinstrument.com

 

 

 

 

 

 

 

结构图–以300mm夹盘为例

 

HCC-R-Struct [原始大小]

 

 

 

 

 

 

 

高低温晶圆夹盘常用产品一览表

型号

温度范围1

样品区

三轴

方形

圆形

帕尔贴制冷2

HCC206R

-100℃ to 200℃

152 mm 直径

 

 

Yes

 

HCC206RT

-100℃ to 200℃

152 mm直径

Yes

 

Yes

 

HCC306R

-100℃ to 310℃

152 mm直径

 

 

Yes

 

HCC306RT

-100℃ to 310℃

152 mm直径

Yes

 

Yes

 

HCC208R

-80℃ to 200℃

203 mm直径

 

 

Yes

 

HCC208RT

-80℃ to 200℃

203 mm直径

Yes

 

Yes

 

HCC308R

-80℃ to 310℃

203 mm直径

 

 

Yes

 

HCC308RT

-80℃ to 310℃

203 mm直径

Yes

 

Yes

 

HCC20CR

-60℃ to 200℃

304 mm直径

 

 

Yes

 

HCC20CRT

-60℃ to 200℃

304 mm直径

Yes

 

Yes

 

HCC30CR

-60℃ to 310℃

304 mm直径

 

 

Yes

 

HCC30CRT

-60℃ to 310℃

304 mm直径

Yes

 

Yes

 

HCC214S

-120℃ to 200℃

101 mm x 101 mm

 

Yes

 

 

HCC314S

-120℃ to 310℃

101 mm x 101 mm

 

Yes

 

 

HCC216S

-100℃ to 200℃

152 mm x 152 mm

 

Yes

 

 

HCC316S

-100℃ to 310℃

152 mm x 152 mm

 

Yes

 

 

HCC218S

-80℃ to 200℃

203 mm x 203 mm

 

Yes

 

 

HCC318S

-80℃ to 310℃

203 mm x 203 mm

 

Yes

 

 

HCC602

-190℃ to 600℃

35 mm x 35 mm

 

Yes

 

 

HCC302

-120℃ to 310℃

48 mm x 60 mm

 

Yes

 

 

TC102S

-25℃ to 90℃

40 mm x 40 mm

 

Yes

 

Yes

TC104S

-25℃ to 90℃

100 mm x 100 mm

 

Yes

 

Yes

1部分型号可扩大温度范围,请联系上海恒商以了解。

2帕尔贴制冷:冷热台使用帕尔贴冷却,无需附加任何制冷配件即可制造低温环境。(例如LN2-SYS液氮冷却装置、WPC3A/WPC3U液冷装置)

 

欲了解更多型号详请,请咨询上海恒商

 

另:Instec英斯特科的主要产品包括:

 

高精度温控装置

  冷热台

  高低温晶圆夹盘

  冷热平板

液晶参数测试仪

液晶测试空盒

液晶材料

 

欲咨询产品请联系本公司上海恒商精密仪器有限公司
Tel:021-62412881
Email:sales@hsinstrument.com

 

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本公司为美国Instec中国区总代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中国区唯一代理,不经过中间商直接与原厂接触,因此能提供最优惠的价格。

公司简介
上海恒商精密仪器有限公司位于上海市徐汇区,专业从事科研仪器仪表的进出口贸易及售后服务。我司代理来自美国,瑞典,台湾等多个国家及地区的诸多品牌,如:INSTEC,FLCElectronics,DiagnosticInstruments,OrbOptronix。产品涉及冷热台系列(HotandColdStages),高低温晶圆夹盘(HotandColdChucks),冷热平板(HotandColdPlates),液晶检测仪,信号发生器,高电压线性放大器,高电流线性放大器,显微镜影像系统,LED检测系统,分光辐射度计,LED电源等。

恒商拥有服务周到的销售团队,为您提供专业的技术解决方案,值得您的信赖!我们提供科研交流机会,不定期举行行业培训,帮助客户正确掌握产品的应用、保养等专业知识。

公司网站:http://www.hsinstrument.com

经营地址:上海市徐汇区漕宝路400号1604室

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