扫描干涉显微镜是利用 光的干涉现象来测量精密加工零件表面三维形貌的仪器。高度方向（Z轴）的分辨率达0.1nm（纳米），属纳米级测量显微镜，又
  被称为纳米显微镜，三维形貌测量显微镜，白光干涉仪。
    通过计算机的软件处理后，可获得被测物表面的精细结构，因此可用于微小零件的精密测量。如光学微元件、集成电路刻线、膜层厚度、表面光洁度等。
    该仪器 采用可见白光光源，避免了激光对人眼的危险性和对被测物的损害。
  对加工纹路混乱的表面及低反射率的工件表面也能进行测量。而且，采用非接触测量和面扫描，避免了扫描隧道显微镜的许多缺陷。
    扫描干涉显微镜特点：纳米级高度三维测量，非接触高速度面扫描，表面形状的二维几何测量及三维体积测量，透明/非透明物体表面都可测量。
    扫描干涉显微镜适用于 电子、光学、精密加工等企业做精密测量工具，也适用于高等院校、科研单位做科学实验仪器。 
  
白光干涉仪-纳米显微镜
 二、主要技术规格：
白光干涉物镜
ZNA-objective
     干涉物镜 10X 20X（选购） 50X（选购）
    测量范围（直径） 0.5mm 0.25mm 0.1mm
  垂直扫描测量范围 100μm (选购：400μm)
  垂直扫描分辨率 0.1 nm
  扫描速度 12μm/s
  工作台升程（Z轴） 80mm
  X、Y方向移动范围 150x100mm
  位置数字显示 X、Y、Z三轴数字显示（分辨率：1μm）
 
光导线截面高度测量

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