TXRF全反射X射线荧光光谱仪
X射线由Mo靶或W靶产生，在Ni/C人工多层膜上反射并单色化。扁平的光束以非常小的角度(0.3 – 0.6 °)掠射装有样品的样品架，并产生全反射。样品所产生的特征荧光被能量色散探测器(XFlash® detector) 探测，强度通过偶合的多通道分析器测量。
与常规的XRF最大的不同，全反射荧光（TXRF）是使用了单色光和全反射光学部件。以全反射光束照射样品，降低了吸收、以及样品及衬底材料对光的散射。结果是大大降低了背景噪音，因此有高的多的灵敏度和明显地降低了基体效应。
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