奥林巴斯金相显微镜MX61
奥林巴斯工业显微镜
MX61A 
MX61A是一款专门设计的半导体显微镜，可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作，有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测，保证了工作的效率和产品一体化。
强大的缺陷检查能力
采用了新颖的光学系统（UIS2），特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温最佳化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍（与本公司原有产品比较）。
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观察影像实例 |
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自动调节最佳亮度
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物镜选择和观察方法切换连动，自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。 |
对应各种设备的实时AF
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MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用，大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中，实现了追踪观察位置的实时对焦。 |
对应多种观察方法
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在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品，与各种观察单元组合，可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。 |
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观察影像实例 |
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提供扩展性的解决方案
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"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来，必需进行若干个操作才能实现的高级观察方法、深紫外线观察等的切换，只要一次点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求。 |
显微镜控制软件 MX2-BSW
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显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF，还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2，能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方，快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。 *1对应本公司推荐的电动载物台 |
符合SEMI S2/S8标准
符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有关安全的基准），S8-0705（有关人体工程学的基准）和CE标识（欧洲强制性认证）等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等，高水准的确保了可靠性。
可选的倾斜观察筒
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备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。 |
洁净对应的电动物镜转换器
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备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。 |
高抗振本体
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采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。 |
可以触摸屏操作的手控开关
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配备了触摸屏操作的手控开关，可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法，就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。 |
晶圆搬送机组合
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可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。 |
自动载物台组合
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技术规格： |
备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制，可以实现高级检查、不良分析功能。 |
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全自动半导体检查显微镜 MX61A 规格 |
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光学系统 |
UIS2光学系统（无限远校正） |
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机身 |
观察方法 |
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 |
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反射/透射 |
反射 |
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照明装置 |
机身一体型（明视场、暗视场＋1选件） |
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照明系统 |
反射照明 |
100 W卤素/100 W水银/75 W氙 |
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透射照明 |
- |
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对焦单元 |
电动/手动 |
电动 |
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行程 |
25.4 mm |
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分辨率/微调灵敏度 |
分辨率0.01 μm |
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最大样本高度 |
24 mm |
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物镜转换器 |
电动型 |
明视场微分干涉6孔 |
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明暗视场微分干涉5孔 |
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明暗视场微分干涉6孔 |
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明暗视场微分干涉中心补正5孔 |
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手动式 |
- |
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载物台 |
行程 |
14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm |
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观察筒 |
广角视场（视场数22） |
倒置 |
- |
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正像 |
- |
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超宽视场（视场数26.5） |
倒置 |
- |
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正像 |
倾斜三目观察筒 |
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附件单元 |
自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 |
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外形尺寸 |
711（W）×853（D）×552（H）mm（标准组合） |
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重量 |
56 kg（标准组合） |
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昆山富莱仪器行，主要销售显微镜、光学测量设备，为企业提供各种光学解决方案。主要产品有：金相显微镜、体视显微镜、工具显微镜等，主要销售的品牌有：奥林巴斯、尼康及自有品牌。产品主要应用于模具、电子、光电、半导体、电路板、五金加工、材料分析等行业，另公司拥有尼康专业工程师，为企业提供完善的售后服务，以及显微镜和测量仪器专业维修服务。
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江苏省昆山市青阳北路218号万达广场5号楼1008
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