激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。广泛应用于精密长度、角度的测量如精密丝杠的检测。

中图仪器激光干涉仪特点：

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

中图仪器激光干涉仪内置标准：

中图仪器激光干涉仪技术参数：

      系统性能

    测量方式：单频

    稳频精度：0.05ppm

    动态采集频率：50 kHz

    预热时间：约6分钟

    工作温度范围：0~40℃

    环境温度范围：0~40℃，环境湿度：0~95%

    存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

    空气温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    空气湿度传感器：±6% (0-95%)

    大气压力传感器：±0.1kPa

      线性测量

    测量距离：0-40m

    测量精度：0.5ppm (0-40℃)

    测量分辨率：1nm

    测量最大速度：4m/s

      角度测量

    轴向量程：0-15m

    测量范围：±10°

    测量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）

    测量分辨率：0.1″

      平面度测量

    轴向量程：0-15 m

    测量范围：±1.5 mm

    测量精度：±（0.6%R+0.02 M²）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）

    基板尺寸：160mm可调，360mm可调

测量分辨率：0.1μm

      直线度测量

    轴向量程：0.1-4.0 m

    测量范围：±3.5 mm

    测量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M²）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）

    测量分辨率：0.01μm

      垂直度测量

    轴向量程：0.1-3.0 m

测量范围：±3.5mm

    测量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）

    测量分辨率：0.01μm/m

      回转轴分度精度测量

    角度测量范围：0-360°

    精密转台角度增量：5°

    精密转台分度精度：±1″

    精密转台重复性：0.2″

中图仪器激光干涉仪标准配置：

1. SJ6000主机：1台
2. 环境补偿单元：1台
3. 光学镜组：

线性测量光学镜组：1套（标准配置）

小型线性光学镜组：1套（选配）

      小角度测量光学镜组：1套（选配）

      直线度测量光学镜组：1套（选配）

      垂直度测量光学镜组：1套（选配）

      平面度测量辅助附件：1套（选配）

回转轴测量精密转台：1套（选配）

1. 测量软件：1套
2. 便携式笔记本电脑：1台
3. 便携式仪器配件箱：1个
4. 通用三脚架：1个
5. 云台附件：1套
6. 磁性表座：2套
7.  产品使用说明书：1套
8.  产品合格证、保修卡：1套
9.  免费保修：1年
10. 校准证书（选配）

激光频率校准证书：

   1）由深圳市计量质量检测研究院出具；

   2）由其它机构出具。

环境补偿单元校准证书：
  1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
  2）由其它机构出具。
线性位移校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。
直线度校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。
小角度校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。