失效分析探针台
规格 | FA-8 | FA-8-SC | ||
外形 | 960mm长*850mm宽*1500mm高 | 880mm长*860mm宽*1550mm高 | ||
重量 | 约260KG | 约280KG | ||
电力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
样品台 | 尺寸 | 8英寸,可360度旋转 | ||
行程 | X-Y行程8*8英寸 | |||
移动精度 | 1um | |||
样品固定方式 | 真空吸附 | 真空吸附 | ||
温控范围 | - | ﹣80~200℃ | ||
快速拉出 | - | 有 | ||
特殊运用 | 电学独立悬空,可作为背电极使用 | |||
针座平台 | 规格 | U型平台,最多可放置10个针座 | O型平台,最多可放置12个针座 | |
行程&调节方式 | 平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um | |||
光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm | X-Y轴行程1英寸*1英寸,Z轴:50.8mm | |
放大倍数 | 20~4000X | |||
镜头切换时操作 | 快速倾仰 | 气动升降 | ||
CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | ||
激光特性 | 波段 | 波长可选择1064/532/355/266nm波段 | ||
功率 | 输出功率2.2mJ/pulse | |||
微加工能力 | 可加工材质:Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等 | |||
精度 | 最小可加工精度1*1um(配置100X镜头时) | |||
冷却方式 | 可选择风冷激光或水冷激光 | |||
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
机械精度 | 2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
漏电精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱时) | |||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | |||
可选附件 | 卡盘快速拉出装置 | 卡盘快速拉出装置 | ||
液晶热点侦测套装 | 液晶热点侦测套装 | |||
高压/大电流测试套装 | 高压/大电流测试套装 | |||
加热台 | - | |||
屏蔽箱 | 屏蔽箱 | |||
转接头 | 转接头 | |||
防震台 | 防震台 | |||
镀金卡盘 | 镀金卡盘 | |||
同轴叁轴卡盘 | 同轴叁轴卡盘 | |||
样品台快速升降,微调升降装置选件 | - | |||
光强/波长测试选件 | 光强/波长测试选件 | |||
射频测试附件 | 射频测试附件 | |||
有源探头 | 有源探头 | |||
低电流/电容测试 | 低电流/电容测试 | |||
光纤夹具耦合测试选件 | 光纤夹具耦合测试选件 | |||
封装器件夹具 | 封装器件夹具 | |||
PCB/封装夹具测试选件 | PCB/封装夹具测试选件 | |||
特殊定制 | 特殊定制 | |||
应用方向 | 常温和高低温环境下的芯片失效分析 |
深圳市森美协尔科技有限公司(SEMISHARE)致力半导体技术的共享事业,专注于促进中国半导体行业的快速成长,目标成为半导体行业领先的total solution供应商。目前设有半导体仪器营销事业部和半导体设备制造工厂。
SEMISHARE半导体仪器营销事业部代理的设备包括半导体检测设备:SEMISHARE品牌探针台和激光修复仪,I-V/C-V参数测试仪,网络分析仪,激光系统,金相显微镜,EMMI微光显微镜,X射线,C-SAM超声波探测,电子显微镜 。晶圆工艺设备:晶圆键合,去胶,沉积,等离子刻蚀,扩散,氧化炉,匀胶机,光刻机,磁控溅射机台,电子束蒸渡机。
SEMISHARE半导体仪器营销事业部立足中国深圳,香港,北京,上海,西安等城市为全中国半导体行业提供全球最先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务,助力先进技术的研发。
SEMISHARE半导体设备制造工厂总资产达5000余万元,厂房面积约5000平方米,现有员工100余人,其中专业技术人员70余人,公司拥有先进的生产工艺及品控检测,主要设备有:压铸机、精雕机、CNC高光机、光纤激光镭射机、CD纹机、批字机、各种吨位冲床、线割机、CNC加工中心、火花机、各吨位塑胶注塑机、耐磨测试仪、人工汗测试仪等。2009年,我们开始研发制造SEMISHARE品牌探针台和激光修复设备,激光器获得国家专利授权。
SEMISHARE拥有热诚,专业的员工和遍及中国的营销及服务网络,快速响应客户需求,提供客户化的产品和端到端的服务,助力客户的成功。
目前,SEMISHARE的产品和解决方案已经应用于中国几百家客户,服务中国半导体研发机构前50强中的40多家。
单位名称: |
详细地址:
深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋3楼
|
qq:
|
联系电话: |
Email: |