霍尔效应测试系统
简介 | 本系统是集成keithley 2400/2600系列高精度源表和semishare Polaris 高低温平台采用范德堡尔法则设计的应用于高精度的测量半导体材料的载流子类型(P型/N型),载流子浓度,迁移率,电阻率,霍尔系数等参数。能够适用于 Si,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN等各种材. | |
软件操作环境 | Windows 98 / ME / 2000 / NT / XP环境下 | |
有效电流输出范围 | 6nA~100mA | |
有效电压测量范围 | -5~5V | |
载流子浓度 | 107 – 1021 | |
concentration(/cm3) | ||
迁移率Mobility(cm2/Vs) | 1~107 | |
电阻率Resistivity (Ohm.cm) | 10-4 - 107 | |
A/B ratio | ok | |
RHD(cm3/C) | Ok | |
RHC(cm3/C) | Ok | |
RH(cm3/C) | Ok | |
Sheet Resistance(Ohm) | Ok | |
温度 | 温度(K):常温和77K 两个温度点 | |
Option:77K~500K ,0.1摄氏度精度,可通过程序设定 | ||
仪器尺寸和重量 | 主机尺寸 | 89mm 高 × 213mm 宽 × 370mm 长 |
重量 | 3.21kg | |
工作环境要求 | 0°–50°C, 70%R.H. | |
存储环境要求 | –25°C to 65°C | |
范德堡尔法则终端转换器 | 200×120×110 mm (W×H×D) | |
净 重 | 7.7千克 | |
测量材料 | Si, SiGe, SiC, ZnO, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ITO等所有半导体薄膜(P型和N型); |
深圳市森美协尔科技有限公司(SEMISHARE)致力半导体技术的共享事业,专注于促进中国半导体行业的快速成长,目标成为半导体行业领先的total solution供应商。目前设有半导体仪器营销事业部和半导体设备制造工厂。
SEMISHARE半导体仪器营销事业部代理的设备包括半导体检测设备:SEMISHARE品牌探针台和激光修复仪,I-V/C-V参数测试仪,网络分析仪,激光系统,金相显微镜,EMMI微光显微镜,X射线,C-SAM超声波探测,电子显微镜 。晶圆工艺设备:晶圆键合,去胶,沉积,等离子刻蚀,扩散,氧化炉,匀胶机,光刻机,磁控溅射机台,电子束蒸渡机。
SEMISHARE半导体仪器营销事业部立足中国深圳,香港,北京,上海,西安等城市为全中国半导体行业提供全球最先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务,助力先进技术的研发。
SEMISHARE半导体设备制造工厂总资产达5000余万元,厂房面积约5000平方米,现有员工100余人,其中专业技术人员70余人,公司拥有先进的生产工艺及品控检测,主要设备有:压铸机、精雕机、CNC高光机、光纤激光镭射机、CD纹机、批字机、各种吨位冲床、线割机、CNC加工中心、火花机、各吨位塑胶注塑机、耐磨测试仪、人工汗测试仪等。2009年,我们开始研发制造SEMISHARE品牌探针台和激光修复设备,激光器获得国家专利授权。
SEMISHARE拥有热诚,专业的员工和遍及中国的营销及服务网络,快速响应客户需求,提供客户化的产品和端到端的服务,助力客户的成功。
目前,SEMISHARE的产品和解决方案已经应用于中国几百家客户,服务中国半导体研发机构前50强中的40多家。
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