美国BRUKER布鲁克台阶仪 本地化服务
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Bruker探针式表面轮廓仪---台阶仪DektakXT表面轮廓/薄膜厚度/表面形貌/应力/平整度等测量系统
布鲁克 (Bruker) 是表面测量和检测技术,服务于科研和生产领域。布鲁克DektakXT (探针式表面轮廓仪)设计创新,实现了的重复性和分辨率,垂直高度重复性<5实现了纳米尺度的表面轮廓测量。
应用:
纳米尺度的表面轮廓测量、薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量,应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、光学、科学研究和材料科学领域
原理:
当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。
根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。
特征:
台阶高度重复性优于5埃(<5 )
单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
先进的“智能化电子器件”实现了低噪声的新标杆
操作简便,高效易用
直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针
专业从事接近式光刻机研发生产与销售,同时也是目前国内主流的欧美及国内先进半导体设备供应商及系统集成商和打包解决方案提供者。我们不但可以提供完整的半导体工艺流程所需各种设备,包括半导体前道工艺、后道封装和测试所需的设备,而且还专精于根据用户需要,客户化定制集成整条工艺生产线,测试线及打包系统工艺解决方案等。
我们提供的产品均属于高科技行业,产品包括高精度的芯片制造工艺设备、检测仪器和以及配套的耗材和配件,这些产品广泛应用于MEMS,集成电路、混合模块、化合物半导体、光电模块、3D封装,光学器件、功率器件,微纳米加工等各个领域,目前已与国际多家知名半导体制造企业建立了合作关系,为客户提供产品和服务。我们秉承“客户至上,锐意进取”的宗旨,从客户的实际需求出发,提供持续良好的售后服务。
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