多功能X射线衍射/反射仪
提供科研开发工作所需的各种X射线测试解决方案

Delta-X 概要

简介
Jordan Valley公司新设计的Delta-X是多功能的X射线衍射设备，可灵活应用于材料科学研究、工艺开发、与生产质量控制。Delta-X衍射仪的光源台和探测台的光学元件可以全自动化调控，并采用水平式样品台。Delta-X衍射仪可以在常规衍射模式、高分辨率衍射模式、X射线反射模式之间灵活切换。光学配置的切换完全在菜单式程序控制下由计算机完成，无需手动操作。自动化切换和准直不需要专门人员和操作设备，并确保每次切换都能达到佳的光学准直状态。
 
常规的样品测量可以通过Delta-X衍射仪，实现部分、乃至完全的自动化运行，自动化测量程序可以依客户需求进行专门定制。也可采用完全的手动模式操作Delta-X衍射仪，以便发展新测量方法，研究新材料体系。
 
数据分析或拟合可以作为测量程序的一部分，可实现完全自动化，也可依据需要单独进行数据分析。 依半导体生产线的需求，将RADS和REFS拟合软件以自动化模式运行，允许在没有用户干扰的情况下自动完成常规性的数据分析，并直接完成数据拟合和结果输出。RADS和REFS也可以单独安装，以便进行更详细的数据分析。
 
 
Delta-X衍射仪能满足科学研究所和技术开发中心 不同材料体系的全方位测试需求。
 
Delta-X 衍射仪的主要特点和优势
n 自动化进行样品准直、测试、和数据分析
n 客户可以自行设定测量的自动化程度
n 300mm的欧拉环支架(Eulerian Cradle)设计，高精度的样品定位和扫描
n 300mm的晶片水平式放置，且可以完整mapping
n 100º的Chi轴倾转范围、无限制范围的Phi轴旋转空间，可实现极图和残余应力测试
n 智能化的光学配置切换和准直。依测量需要，自动选择光学配置并实施光学准直
n 工业界先的设备控制软件和数据分析软件
n 高分辨率测角仪，以保证精密且准确的测量
n 高强度的光源台设计和光学元件组合，以实现快速测量
n 多方面广泛的测试技术和测量参数
n 由拥有超过30年的高分辨率X射线衍射经验的世jie级专家设计、制造，具有全球客户经验。

 
 
Delta-X衍射仪的特点和优势
自动化控制的光学系统:
Delta-X衍射仪的入射束包括多种标准的光学配置模式，以便使光学配置具有充分的灵活性，且易于操作。可以依据测量样品的材料类型，选择参考晶体。
 
n 标准模式：用于所有系统，平行束多层膜高反镜
n 其他四种光学系统可以选择和安装：
n Bragg-Brentano镜 (Johannson光学元件)
n Bragg-Brentano镜 (Johannson光学元件)和一个参考晶体(二次反射)
n 两个独立的参考晶体(二次反射)：参考晶体的材料类型和分辨率有多种设计供选择，以便提供与测量匹配的分辨率。
n 两个参考晶体，以Bartels模式安装
n 参考晶体和高反镜均可自动化切换
n 不需要将参考晶体和高反镜手动移出衍射仪，保证光学元件不被损坏、不偏离准直状态。
n 衍射仪的初始准直易于操作，安全可靠，无需在设备内开启X射线操作。

样品台
可放置直径≤300mm晶片或多个小尺寸晶片、样品
Delta-X衍射仪的欧拉(Eulerian )环支架设计允许放置单个或多个晶片或样品，并提供多个转动轴的大范围、高再现性的精确移动控制。
 
n 水平式样品放置
n 可实现X和Y轴方向上，300mm内的完整mapping测量，无边缘测量失真的现象
n 10mm的Z轴高度范围，即使对厚样品也可以调整晶片高度，获得测量位置
n 在样品盘的不同位置，设计了均匀、无扭曲的真空轻度吸附，既适合大尺寸晶片放置，又适合独立、小尺寸晶片的多片式放置
n 100°的Chi轴倾转范围，可实现完整的极图和残余应力测量
n Phi轴的旋转范围无限制，可实现完整的极图和面内衍射测量
 
“边缘至边缘”全晶片测量 (无边缘测量失真现象)
 
Delta-X衍射仪支持全晶片测量，无边缘测量失真的现象。
特殊环境样品台
Delta-X衍射仪可选配高温台，并用于各种测试技术。
n 样品尺寸≤25mm
n XRR/XRD/HRXRD等技术均可实现
n 高温度可达1100℃
n 可实现真空、空气、特殊气体等不同的测量环境
n 可实现温度的计算机自动控制

n EDRc (动态响应范围增强型)探测器的动态响应范围>2x107cps。配置全自动化衰减器后，动态响应范围可提高至5x108cps。
n 选配三轴分析晶体和Soller狭缝，可自动化准直，以保障各项测量所需的分辨率。
n 马达驱动的自动化探测狭缝。无需手动调整，即可控制探测台的接收精度。
n 超快速扫描引擎和软件。大范围扫描可以在5秒内完成。
 
性能卓越的线探测器(选配件)
提供一维(1D)线探测器可供选择，能实现束线信号的同步平行采集，能显著提高XRD的测量速度。特别适用于小束斑条件下的XRD测量、和快速HRXRD倒易空间map测量。
n 自动化束线准直
n 紧凑式集成设计
n 捕获角度范围大
n 响应帧频高
n 气体冷却方式
 
自动化机械手臂(Robot)选配件
直径≤300mm晶片的全自动化装卸和测量
 
Delta-X衍射仪可选配全自动化机械手臂，以实现从晶片盒中自动取放晶片。
 
晶片自动化装卸(robot)配件:
n 可选择“2至8英寸”晶片配置、或者”8英寸与12英寸”晶片配置，提供相应的自动化装卸的控制软件
n 适用于任意数量的晶片测量，多个测量菜单可灵活组合
n 避免手动装卸晶片，提高晶片清洁度
n 自动化软件可准确监测晶片盒尺寸
n 有效提高大尺寸晶片测量的效率
n 设计规格符合SEMI标准