TESCAN-场发射扫描电子显微镜
场发射扫描电子显微镜
公司介绍:
TESCAN总部坐落在捷克共和国布尔诺市,作为全球范围内的科学仪器制造商,TESCAN专注于于研究、开发、制造扫描电子显微镜及其相关附件和特殊产品,为建立在扫描电子显微镜以及针对不同应用的相关系统解决方案领域内的品牌做出不懈努力。
通过参与尖端研究项目,通过和其他电子显微镜以及显微分析的制造商的合作,TESCAN致力于持续不断的改进产品以使其保持在全球微纳技术创新解决方案领域内的竞争力。本着制造卓越品质和高可靠性、高稳定性产品的原则,借助于先进的资源信息处理系统和优化过程管理,我们用顶尖水平的技术装备和最高标准的质量管理系统确保客户对产品质量、价格、交货等多方面的满意。
我们有遍布全球的销售和服务网络,销售团队和训练有素的工程师保证客户在最快的时间内得到产品信息和服务支持。
产品重要特点:
业界唯一配置有中间镜(IML)设计的扫描电子显微镜
中间镜设计使得史无前例的成像模式出现在用户眼前,如TESCAN久负盛名的超大视野,超大的景深观察,倾斜电子束和实时3维立体图像功能。
的大视野光路设计
用户直接用实时的电镜图像进行导航,从而拥有业界最快的找样速度。
加强景深显示模式
专门用于观察高低落差大的样品,如金属断口,失效分析等。
的实时电子束追踪系统
用户先确定最重要的参数,由系统主动调整其他参数来适应它,达到实时最优化束流。
3D beam(三维电子束扫描技术)
通过倾斜电子束的方式(样品台不倾斜),从不同角度扫描样品,用户可以拍摄和实时观察样品的立体图像,特别适合于材料断口和生物样本的观察。
独特的(中间镜+固定光阑)筒镜设计,完美取代老式的移动光阑设计
筒镜参数设置和对中完全由计算机自动完成,从根源上消除了任何由用户手动调整引起的电子束对中误差,同时光阑孔径多级可变,给用户功能强大的“软件光阑”。
所有的探头标配YAG(钇铝石榴石)材料的闪烁体
信噪比高,反应迅速,不会老化,无需更换。
图像最大的存储像素高达8192﹡8192
方便用户仅通过一次扫描即可获得最大面积的高倍图像
规格|型号 |
MIRA3LM |
MIRA3XM |
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电子枪 |
热场发射 |
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分辨率 |
高真空模式 |
1.0nm(30kV) |
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1.2nm(15kV) |
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2.0nm(3kV) |
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2.0nm(30kV) |
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低真空模式 |
1.5nm(30kV) |
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2.0nm(30kV) |
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低真空范围 |
7~150Pa |
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枪体真空模式 |
<3×10-7Pa |
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放大倍率 |
3.5×~1000000×连续可调 |
2×~1000000×连续可调 |
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加速电压 |
200V至30kV |
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探针电流 |
2pA至100nA |
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扫描速度 |
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调 |
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样品室 |
内部尺寸 |
☉230mm |
300mm 宽 × 330mm 深 |
接口数量 |
11+ |
12+ |
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样品载台 |
五轴马达驱动(优中心) |
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移动行程 |
X=80mm |
X=130mm |
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Y=60mm |
Y=130mm |
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Z=47mm |
Z=100mm |
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旋转:360° |
旋转:360° |
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倾斜:-80°到+80° |
倾斜:-30°到+90° |
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电子光学工作模式 |
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、先进封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。
单位名称: |
详细地址:
北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
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