PDC-MG-s型等离子清洗机
PTL系列真空等离子表面处理技术----plasma technology
PTL真空等离子系统致力于为航空航天、汽车工业、半导体制造、纺织技术、电子微电子、生物工程、医学医疗、塑料橡胶、科研开发等行业客户提供解决方案,以帮助客户提高产品质量、提升生产效率,同时降低对环境的不良影响。
PTL的等离子清洗和等离子刻蚀设备。采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。
PTL等离子表面处理系统的特点:
等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率大化,同时也可保证样
品可得到有效的清洗。
过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。
PTL真空等离子系统构成
PTL系列低压等离子清洗系统由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-50Pa 的真空度,再在高频发生器交变电场的作用下,将气体进行电离,形成等离子体(物质第四态),其显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光,材料处理温度接近室温。活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,从而达到清洗目的,并且得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。