扫描探针显微镜
SPM是一个大的种类，目前，SPM家族中已经产生了二三十种显微镜，如扫描隧道显微镜STM）、原子力显微镜（AFM）、磁力显微镜（MFM）、静电力显微镜（EFM）、近场光学显微镜（SNOM）等等。
SPM的工作原理是基于微观或介观范围的各种物理特性，通过原子线度的极细探针在被研 究物质的表面上方扫描时检测探针—样品两者之间的相互作用,以得到被研究物质的表面特性，不同类型的SPM之间的主要区别在于它们的针尖特性及其相应的针尖----样品相互作用方式的不同。
1.扫描系统：
1.1 扫描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲线测量；AFM接触/横向力/轻敲/模式，力曲线测量
1.2 最大扫描范围：50μm*50μm扫描器（可选配100μm*100μm扫描器）
单一大量程自适应扫描器不更换技术，最大100μm扫描器可达HOPG原子分辨率
1.3 分辨率：
扫描隧道显微镜STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定标
接触模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；云母晶格定标
轻敲模式AFM：X-Y向0.2nm，Z向0.1nm；DNA样品验证
单一大量程自适应扫描器不更换技术，最大100μm扫描器可达HOPG原子分辨
1.4 样品台尺寸：直径≤Φ65mm，厚度≤30mm，重量≤15g
1.5 探针识别：自动识别当前针尖类型，软硬件自动切换到相应的工作模式，无需人工
1.6 探针保护：独特设计的针尖保护技术，包括自动进针保护和平滑移动保护，能有效
的损伤，使仪器长时间保持高分辨图像。
1.7 探针趋近：高精度高速伺服电机，控制针尖自动逼近样品，行程<30mm，步长<23nm
1.8 样品移动：计算机控制 高精度电控样品移动平台（国内独家配置）
1.9 纳米加工：矢量刻蚀功能 、图形刻蚀功能（选配）
2.样品定位功能模块
2.1 高分辨CCD光学显微系统：在计算机上成像，用于观察探针和样品，放大倍数
1.6mm，工作距离10cm，配套控制及成像软件。一体式设计，工
测。
2.2 高精度电控样品移动平台：计算机自动控制，配合光学显微系统进行精确样品移动
视；
2.2.1 移动范围5mm*5mm，单步最小步长50nm
2.2.2 高精度电控移动平台和单一大量程自适应扫描器技术结合，实现从最大量程到
围内，全程计算机控制样品定位，无盲点
2.2.3 直接用鼠标拖动待测区到目的地，计算机控制移动平台自动移动
2.2.4 可任意设置原点位置，一键返回（计算机控制移动平台自动回到设置的原点位
2.2.5 可任意标记多个测样点，编制定位路径，计算机控制移动平台自动到达各设定
2.2.6 可直接输入X、Y方向移动数值，计算机控制移动平台自动定位，国内独家配置，其它厂商只提
供手动调节的精密螺杆移动平台，无法实现样品
2.3 单一大量程自适应扫描器：最大100μm扫描器可达HOPG原子分辨率，测样过程
实现从50微米—几纳米扫描范围连续定位高精度成像（全球
3.控制系统：
3.1 控制/采集精度：采用双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专利技术，16通道
当于23位）；12通道16位D/A；4通道双16位D/A（精度
3.2 反馈方式：8通道 数字化反馈+数控模拟反馈
3.3 中枢控制器：32位ARM技术，16 M RAM ，2M Flash ROM
3.4 中枢总线：数字总线：速度24M/s，宽度16位；外部地址总线：速度24M/s，宽度8
线：速度500Kb/s，宽度8位，可直接远程下载升级可编程电子器
+10V，信噪比200000：1。
3.5 中枢总线余量：3通道16位D/A；3通道双16位A/D（精度相当于23位）；20位DIO
3.6 扩展余量：16通道16位D/A；16通道双16位A/D（精度相当于23位）
3.7 高压单元：±300V 纹波噪声1.5mV；4通道双16位D/A（精度相当于23位）提供
的控制电压；可扩展到8通道
3.8 计算机接口：USB2.0接口
3.9 扫描频率：0.1～300Hz
3.10 扫描角度：-180˚~180˚连续可调
3.11 图像采样点：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可调
3.12 电流检测灵敏度≤10pA
3.13 力检测灵敏度≤1pN
3.14 预置隧道电流：1pA～50nA
3.15 偏置电压：-10～+10V
4.软件系统：
4.1 操作系统：Windows 98/2000/XP
4.2 在线控制软件：四窗口图像界面，可观察4个不同数据通道同步成像;系统智能记忆
变，相关参数会根据系统经验自动调节到最佳范围；压电陶瓷非
校正等。
4.3 图像处理软件：3D显示，滤波处理，图像修饰，边缘增强、形态学处理、图像格式
变换、调色板设置等。
4.4 数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、各种
等。
4.5 软件开发模板：便于用户进行二次开发，完成特殊的数据处理功能。
4.6 专业膜厚/台阶测量分析软件：用SPM仪器测量膜厚的技术关键在于有效搜寻到并能
到薄膜或者台阶的边沿，只有使用我们国内独家配置的高精度电控样品移动平台配合CCD系统才可
以做到。
4.7 远程控制软件：支持远程网控技术，提供远程培训、远程检修、远程实验服务（选
4.8 软件服务包：软件以插件方式终身享受免费升级服务。
5.工作条件：
5.1 环境温度：0-35摄氏度
5.2 相对湿度：0-65%
5.3 工作电压：220V（±10%），50Hz
上海卓伦微纳米设备有限公司 成立于2001年8月，总部位于上海。是一家专业从事纳米定位技术的高科技公司。公司成立初期由上海广电信息股份有限公司投资，3年后，公司运营良好，顺利回购了股份。2006年10月，卓伦公司第二次融资成功，入驻繁华的陆家嘴金融商圈，稳步迈入上规模的第二个战略发展阶段。
扫描探针显微镜项目是第一战略阶段卓伦公司的核心产品，公司前期投入了大量的人力和资金专注于该产品体系的研发。2003年，第三代通用平台体系结构的MicroNano® 扫描探针显微镜产品系列面世之后，卓伦公司倡导和创新的SPM通用开放平台结构、模块化可升级体系、双16位AD/DA技术、多通道可扩展结构因其先进性和远见性逐步成为国内SPM行业追随的技术发展方向,成为领跑者。卓伦公司自2004年以来先后创新的单一多量程自适应扫描器不更换技术、纳米级电控样品移动定位平台、智能针尖自识别技术、用户级可开发
通用平台技术、200毫米大样品台工业级SPM等因其在全球范围内的先进性和独创性使中国人自主研制的SPM仪器得到了全球同行的关注和尊重。
公司进入第二战略阶段后，研发重心已经逐步转移到以纳米定位技术（NanoPosition™ Technology）为核心的应用技术的开发，这些技术分别涉及到光纤通讯、超高精度加工、集成电路大样品检测、高精密电子元件生产流程测控、纳米光学系统、超高分辨CCD等各个行业，以完全的创新思路开辟空白市场，对这些项目，公司将采取与SPM项目完全不同的商业运营模式，实现第二阶段卓伦的腾飞！
卓伦的目标：提供更好的纳米定位技术解决方案、产品和服务，成为世界一流的、卓越的、伟大的企业。
卓伦的使命：通过我们坚持不懈的奋斗，在纳米定位技术领域创造出非凡的成就，使中国在纳米技术时代屹立于世界科技强国之林，是每一位卓伦人的责任和使命。
卓伦的精神：团结合作、创新超越、求实进取。
卓伦的道德标准：诚信、正气、奉献、清廉。
专注、执著、精益求精，我们相信态度决定一切
用 激情和创新的力量精心打造国产高端仪器
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