扫描隧道显微镜
STM(Scanning Tunneling Microscope的简称)的工作原理来源于量子力学中的隧道效应原理。当金属探针在与导电样品非常接近时(小于1nm),控制探针在样品表面进行逐行扫描,检测探针与样品间隧道电流的变化来获取样品表面形貌、I-Z、I-V曲线等其它特性。
由于要在探针和样品间产生并传输隧道电流,所以只能检测导电 样品。
1.扫描系统: 1.1 扫描模式:STM恒流/恒高模式,I-Z/I-V曲线测量 1.2 最大扫描范围:6μm*6μm,单一多量程自适应扫描器不更换技术,单个扫描器可达 STM可选配50/100微米大量程扫描器) 1.3 分辨率:X-Y向0.1nm;Z向0.01nm;HOPG原子定标,单一多量程自适应扫描器不更换技术 1.4 样品台尺寸:直径≤Φ40mm,厚度≤15mm,重量≤15g 1.5 探针识别:自动识别当前针尖类型,软硬件自动切换到相应的工作模式,无需人工干预; 1.6 探针保护:独特设计的针尖保护技术,包括自动进针保护和平滑移动保护,能有效降 长时间保持高分辨图像。 1.7 探针趋近:高精度高速伺服电机,控制针尖自动逼近样品,行程<30mm,步长<23nm 1.8 样品移动:手动精密机械二维移动平台(移动范围5mm×5mm,精度3μm)。 1.9 纳米加工:矢量刻蚀功能 ,图形刻蚀功能 2.控制系统: 2.1 控制/采集精度:采用32位ARM技术,双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专 相当于23位);12通道16位D/A;4通道双16 2.2 反馈方式:8通道 数字化反馈+数控模拟反馈 2.3 高压单元:±300V 纹波噪声1.5mV;4通道双16位D/A(精度相当于23位)提供 扩展到8通道 2.4 计算机接口:EPP模式并行口 / USB2.0接口 可选 2.5 扫描频率:0.1~300Hz 2.6 扫描角度:-180˚~180˚连续可调 2.7 图像采样点:128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048 可调 2.8 电流检测灵敏度≤10pA 2.9 预置隧道电流:1pA~50nA 2.10 偏置电压:-10~+10V 3.软件系统: 3.1 操作系统:Windows 98/2000/XP 3.2 在线控制软件:四窗口图像界面,可观察4个不同数据通道同步成像;系统智能 根据系统经验自动调节到最佳范围;压电陶瓷非线 性校正,曲面拟合校正,样品倾斜校正等。 3.3 图像处理软件:3D显示,滤波处理,图像修饰,边缘增强、形态学处理、图像格式 置等。 3.4 数据分析软件:粗糙度分析,颗粒度分析,剖面分析,膜厚分析、台阶分析、各种 3.5 软件开发模板:便于用户进行二次开发,完成特殊的数据处理功能。 3.6 软件服务包:软件以插件方式终身享受免费升级服务。 4.工作条件: 4.1 环境温度:0-35摄氏度 4.2 相对湿度:0-65% 4.3 工作电压:220V(±10%),50Hz
上海卓伦微纳米设备有限公司 成立于2001年8月,总部位于上海。是一家专业从事纳米定位技术的高科技公司。公司成立初期由上海广电信息股份有限公司投资,3年后,公司运营良好,顺利回购了股份。2006年10月,卓伦公司第二次融资成功,入驻繁华的陆家嘴金融商圈,稳步迈入上规模的第二个战略发展阶段。
扫描探针显微镜项目是第一战略阶段卓伦公司的核心产品,公司前期投入了大量的人力和资金专注于该产品体系的研发。2003年,第三代通用平台体系结构的MicroNano® 扫描探针显微镜产品系列面世之后,卓伦公司倡导和创新的SPM通用开放平台结构、模块化可升级体系、双16位AD/DA技术、多通道可扩展结构因其先进性和远见性逐步成为国内SPM行业追随的技术发展方向,成为领跑者。卓伦公司自2004年以来先后创新的单一多量程自适应扫描器不更换技术、纳米级电控样品移动定位平台、智能针尖自识别技术、用户级可开发
通用平台技术、200毫米大样品台工业级SPM等因其在全球范围内的先进性和独创性使中国人自主研制的SPM仪器得到了全球同行的关注和尊重。
公司进入第二战略阶段后,研发重心已经逐步转移到以纳米定位技术(NanoPosition™ Technology)为核心的应用技术的开发,这些技术分别涉及到光纤通讯、超高精度加工、集成电路大样品检测、高精密电子元件生产流程测控、纳米光学系统、超高分辨CCD等各个行业,以完全的创新思路开辟空白市场,对这些项目,公司将采取与SPM项目完全不同的商业运营模式,实现第二阶段卓伦的腾飞!
卓伦的目标:提供更好的纳米定位技术解决方案、产品和服务,成为世界一流的、卓越的、伟大的企业。
卓伦的使命:通过我们坚持不懈的奋斗,在纳米定位技术领域创造出非凡的成就,使中国在纳米技术时代屹立于世界科技强国之林,是每一位卓伦人的责任和使命。
卓伦的精神:团结合作、创新超越、求实进取。
卓伦的道德标准:诚信、正气、奉献、清廉。
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