生物芯片处理

RAITH-多功能电子束光刻设备Pioneer Two

基本信息
产品名称:
RAITH-多功能电子束光刻设备Pioneer Two
英文名称:
Pioneer Two
国产/进口:
进口
产地/品牌:
RAITH
型号:
Pioneer Two
参考报价:
总点击数:
7163
更新日期:
2025-07-02
产品类别:

性能参数
(一)多功能电子束光刻设备Pioneer Two:
 Pioneer Two是一款高性价比的成套的电子束光刻设备,采用30kV Gemini电子束技术,应用于2英寸以下晶圆的纳米级光刻、高分辨成像及低压电子束光刻。

20keV下在HSQ胶上曝光亚8nm线条
(). 多功能电子束光刻设备eLine Plus:
    eLine Plus是一款集成了纳米操纵设备,如纳米探针、用于聚焦电子束诱导过程的气体注入系统等各种多功能选件的电子束光刻设备,广泛应用于学校和各大科研机构,采用30kV Gemini电子束技术,应用于4英寸以下基板的纳米级光刻、纳米工程、纳米操纵、纳米探测、纳米轮廓仪、聚焦电子束诱导和成像分析等。

HSQ胶上制作亚5nm线条
(). 专业型电子束光刻设备Raith150 Two: 
    Raith150 Two是一款高分辨电子束光刻设备,采用30kV Gemini电子束技术,应用于8英寸以下基板(可曝光面积6英寸)的纳米级光刻、高分辨成像及低压电子束光刻,可实现亚5nm的曝光结构。

HSQ胶上制作亚4.5nm线条及PMMA胶上制作精细的11nm线条
(). 专业型电子束光刻设备Voyager: 
    Voyager是一款高性价比采用创新的eWrite体系结构的电子束光刻设备,采用50kV eWrite 电子束技术,应用于8英寸以下基板(可曝光面积6英寸)的高速直写,适合衍射光学元件、防伪元件的加工及化合物半导体器件的高速加工。
 
公司简介

公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、先进封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。
 


售后服务
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