原子层沉积系统（ALD R-200 Advanced）--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

原子层沉积系统（ALD R-200 Advanced）

英文名称：

国产/进口：

进口

产地/品牌：

PICOSUN

型号：

PICOSUN™ ALD

参考报价：

销售商：

广州竞赢科学仪器有限公司

总点击数：

5955

更新日期：

2025-05-19

产品类别：

其它各类仪器

性能参数

PICOSUN™ R系列设备提供高质量ALD薄膜的沉积技术，并在各种各样的衬底上都表现极佳的均匀性，包括最具挑战性的通孔的、超高深宽比和颗粒等样品。我们为液体、气体和固体化学物提供的更高级的，易更换的前驱源系统，能够在晶圆、3D样品和各种纳米特性的样品上生长颗粒度最小的薄膜层。在最基本的PICOSUN™ R系列配置中可以选择多个独立的，完全分离的源入口匹配多种类型的前驱源。PICOSUN™ R系列独特的扩展性使ALD工艺可以从研究环境直接过渡到生产环境的PICOSUN™ P系列ALD系统。由于研发型与生产型PICOSUN™反应腔室核心设计特点都是相同的,这消除了实验室与制造车间之间的鸿沟。对大学来说,突破创新的技术转化到生产中，就会吸引到企业投资。

技术指标：

衬底尺寸和类型	50 – 200 mm /单片 156 mm x 156 mm 太阳能硅片 3D 复杂表面衬底粉末与颗粒多孔，通孔，高深宽比（HAR）样品 Roll-to-roll , 衬底最大宽 70 mm
工艺温度	50 – 500 °C, 可选更高温度
基片传送选件	气动升降（手动装载）预真空室安装磁力操作机械手（Load lock ）半自动装载，用PICOPLATFORM™200集群系统实现 25片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系统实现
前驱体	液态、固态、气态、臭氧源、等离子体（最多4路气体） 6根独立源管线，最多加载12个前驱体源（加上Plasma管路，共7根独立源管线）
重量	350kg+ 200 kg
尺寸（ W x H x D)）	取决于选件最小146 cm x 146 cm x 84 cm 最大189 cm x 206 cm x 111 cm
选件	集群工具，PICOFLOW™ 扩散增强器，集成椭偏仪，QCM，RGA，超高真空兼容，N2发生器，尾气处理器，定制设计，手套箱集成（用于惰性气体下装载）
验收标准	标准设备验收标准为 Al₂O₃ 工艺

应用领域：

客户使用PICOSUN™ R系列ALD 设备在150mm和200mm（6“和8”）晶圆上所沉积薄膜厚度均匀性数据。

材料	非均匀性(1σ)
AI₂O₃ (batch)	0.13 %
SiO₂ (batch)	0.77 %
TiO₂	0.28 %
HfO₂	0.47 %
ZnO	0.94 %
Ta₂O₅	1.0 %
TiN	1.10 %
CeO₂	1.52 %
Pt	3.41 %

公司简介

广州竞赢科学仪器有限公司是一家专业的科技型企业，主营实验设备研制、生产和销售，实验室设计组建，测试和科研服务等业务。
广州竞赢一直致力于自主研制，同时引进国外先进的电镜制样设备、制样工具和电镜耗材。目前，公司已经成为多家国外知名品牌在中国区的授权代理。公司自主研制的产品主要有微量物证电镜检测系统、辉光放电仪、JY系列镀膜仪、旋转样品台，以及各类定制化电镜附属工具及耗材，并获得几十项相关发明专利。代理的产品主要包括：美国TED PELLA的微波组织处理仪、辉光放电仪、离子溅射仪、裂片仪、凹坑仪等电镜制样设备和电镜耗材，日本DOSAKA的振动切片机等设备。
2019年，广州竞赢成立检测中心，致力成为国内外有影响力、技术水平领先、检验研究机构、新技术应用示范平台和教育培训推广基地。2023年，公司顺利通过国家高新技术企业认证，以便更好的为广大客户提供专业服务。

经营理念：竞进创新、合作共赢、专业服务、诚信经营。

（耗材）陈小姐：15899972366 邮箱：3265897381@qq.com

售后服务

1. 仪器安装验收后1年内，免费保修（免费质保期期限起计方式：产品自验收合格之日起计算）。 2. 自双方代表在验收单上签字之日起免费质保期满后，为了确保此仪器设备的正常运行，工程师将对此工程进行定期回访，解决在运行中所遇到的故障，提供预防措施。 3. 仪器使用过程中遇到任何问题，在接到用户技术支持的请求后，将在8小时内技术支持工程师回电，并在72小时内给出解决方案。