Nanosensors大长径比探针AR5 AR10
基本信息
产品名称：
Nanosensors大长径比探针AR5 AR10
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
Nanosensors
型号：
AR5 AR10
参考报价：
销售商：
总点击数：
1199
更新日期：
2024-10-28
产品类别：
性能参数
Nanosensors大长径比探针AR5 AR10
对于具有高纵横比特征和侧壁角度接近90°的样品的测量，如半导体器件技术中的沟槽和接触孔，NANOSENSORS™设计了高纵横比尖端AR5，AR5T，AR10和AR10T，显示近垂直尖端侧壁。
所有型号均基于NANOSENSORS PointProbe Plus技术。针尖的总高度为10 - 15μm，可以对高瓦楞样品进行测量。在最后几微米处，尖端呈现径向对称的高纵横比部分。尖端半径通常为10nm（保证至少15纳米）。 n
AR10的特征
AR10尖端的高纵横比部分长于1.5μm并且在1.5μm的尖端高度处显示出优于10：1（通常为12：1）的纵横比。这对应于尖端高度为1.5μm且尖端半锥角小于2.8°时的尖端直径小于150nm。
AR5的特征
AR5尖端的高纵横比部分长于2μm并且在2.0μm的尖端高度处显示出优于5：1（通常为7：1）的纵横比。这对应于尖端高度为2μm且尖端半锥角小于5°时的尖端直径小于400nm。
倾斜补偿高纵横比硅探头
为了补偿由原子力显微镜头安装（通常为13°）引起的倾斜角，我们将AR5和AR10针尖分别作为倾斜校正的AR5T和AR10T版本（尖端的高纵横比部分倾斜13°至尖端的中心轴）。作为倾斜校正的结果，尖端的高纵横比部分将完全垂直于样品表面，并且能够测量深度和最窄的特征以及附近垂直侧壁并将证明绝对对称的成像。 n
AR10T的特征
AR10T尖端的高纵横比部分长于1.5μm并且在1.5μm的尖端高度处显示出优于10：1（通常为12：1）的纵横比。这对应于尖端高度为1.5μm且尖端半锥角小于2.8°时的尖端直径小于150nm。尖端的高纵横比部分倾斜13±1°，相对于尖端的中心轴。可根据要求提供其他倾斜角度。 n
AR5T的特征
AR5T尖端的高纵横比部分长于2μm并且在2.0μm的尖端高度处显示出优于5：1（通常为7：1）的纵横比。这对应于尖端高度为2μm且尖端半锥角小于5°时的尖端直径小于400nm。该
尖端的高纵横比部分相对于尖端的中心轴倾斜13±1°。
可以计算在所需高度处的高纵横比部分的直径，包括如下的尖端半径：
与顶点直径的距离<+ 2x尖端半径纵横比系数。
纵横比因子考虑了有限的尖端半径。对于AR10，纵横比因子为12.5，对于AR5探针，纵横比因子为5.4。示例：在要求的600 nm高度，AR10的直径小于78 nm。 n
支持芯片
悬臂固定在硅支撑芯片上（可在®PointProbePlus传单中的SPM探头组件示意图中看到）。作为探头的组成部分的支撑芯片设计用于操纵探针并将其固定到SPM。支撑芯片的几何尺寸非常可重复，可实现
更换探头而无需重新调整激光器。通过支撑芯片背面的对准槽与我们的对准芯片相结合，进一步改善了这一点。如果它们中的任何一个倾斜，则支撑芯片的倒角边缘避免芯片和样品之间的接触。 n
悬臂
悬臂的横截面是梯形的，这提供了几个优点。悬臂的探测器侧相当宽。这使得能够容易地调整光学系统。然而，决定弹簧常数的悬臂的平均宽度要小得多。尖端侧的小悬臂宽度减小了悬臂的阻尼，这对于动态（非接触轻敲模式）模式下的操作是重要的。 n
材料特征
TM NANOSENSORS高纵横比SPM探针由高掺杂的单晶硅制成，具有独特的功能。硅是众所周知的半导体技术材料。
对于具有高纵横比特征和侧壁角度接近90°的样品的测量，如半导体器件技术中的沟槽和接触孔，NANOSENSORS™设计了高纵横比尖端AR5，AR5T，AR10和AR10T，显示近垂直尖端侧壁。
所有型号均基于NANOSENSORS PointProbe Plus技术。针尖的总高度为10 - 15μm，可以对高瓦楞样品进行测量。在最后几微米处，尖端呈现径向对称的高纵横比部分。尖端半径通常为10nm（保证至少15纳米）。 n
AR10的特征
AR10尖端的高纵横比部分长于1.5μm并且在1.5μm的尖端高度处显示出优于10：1（通常为12：1）的纵横比。这对应于尖端高度为1.5μm且尖端半锥角小于2.8°时的尖端直径小于150nm。
AR5的特征
AR5尖端的高纵横比部分长于2μm并且在2.0μm的尖端高度处显示出优于5：1（通常为7：1）的纵横比。这对应于尖端高度为2μm且尖端半锥角小于5°时的尖端直径小于400nm。
倾斜补偿高纵横比硅探头
为了补偿由原子力显微镜头安装（通常为13°）引起的倾斜角，我们将AR5和AR10针尖分别作为倾斜校正的AR5T和AR10T版本（尖端的高纵横比部分倾斜13°至尖端的中心轴）。作为倾斜校正的结果，尖端的高纵横比部分将完全垂直于样品表面，并且能够测量深度和最窄的特征以及附近垂直侧壁并将证明绝对对称的成像。 n
AR10T的特征
AR10T尖端的高纵横比部分长于1.5μm并且在1.5μm的尖端高度处显示出优于10：1（通常为12：1）的纵横比。这对应于尖端高度为1.5μm且尖端半锥角小于2.8°时的尖端直径小于150nm。尖端的高纵横比部分倾斜13±1°，相对于尖端的中心轴。可根据要求提供其他倾斜角度。 n
AR5T的特征
AR5T尖端的高纵横比部分长于2μm并且在2.0μm的尖端高度处显示出优于5：1（通常为7：1）的纵横比。这对应于尖端高度为2μm且尖端半锥角小于5°时的尖端直径小于400nm。该
尖端的高纵横比部分相对于尖端的中心轴倾斜13±1°。
可以计算在所需高度处的高纵横比部分的直径，包括如下的尖端半径：
与顶点直径的距离<+ 2x尖端半径纵横比系数。
纵横比因子考虑了有限的尖端半径。对于AR10，纵横比因子为12.5，对于AR5探针，纵横比因子为5.4。示例：在要求的600 nm高度，AR10的直径小于78 nm。 n
支持芯片
悬臂固定在硅支撑芯片上（可在®PointProbePlus传单中的SPM探头组件示意图中看到）。作为探头的组成部分的支撑芯片设计用于操纵探针并将其固定到SPM。支撑芯片的几何尺寸非常可重复，可实现
更换探头而无需重新调整激光器。通过支撑芯片背面的对准槽与我们的对准芯片相结合，进一步改善了这一点。如果它们中的任何一个倾斜，则支撑芯片的倒角边缘避免芯片和样品之间的接触。 n
悬臂
悬臂的横截面是梯形的，这提供了几个优点。悬臂的探测器侧相当宽。这使得能够容易地调整光学系统。然而，决定弹簧常数的悬臂的平均宽度要小得多。尖端侧的小悬臂宽度减小了悬臂的阻尼，这对于动态（非接触轻敲模式）模式下的操作是重要的。 n
材料特征
TM NANOSENSORS高纵横比SPM探针由高掺杂的单晶硅制成，具有独特的功能。硅是众所周知的半导体技术材料。
公司简介
北京伊微视科技有限公司是一家专注于提供先进显微、膜厚测量以及光电测试设备的企业。
我们致力于为客户提供全面的显微设备，涵盖从毫米到纳米级别的多个领域。我们的产品线包括样品制备设备、体式显微镜、数码显微镜、金相显微镜、平面度测试仪、3D表面轮廓仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜以及透明晶圆缺陷扫描仪。
此外，我们还提供专业的薄膜测量设备，包括透明/半透明薄膜的反射光谱测量仪、用于纳米级别测量的椭偏仪，以及针对不透光金属镀膜的X荧光光谱测量仪。
在光电测量设备领域，我们正在不断拓展我们的产品线，已代理的产品包括Sinton的少子寿命测试和Fluxim测量软件。
尺有所短寸有所长，每一个品牌，每一台设备亦如此。在客户的需求上，提供最适当的解决方案，是我们服务的宗旨。我们不仅仅是设备的销售商，更是为客户提供全方位解决方案的合作伙伴。
我们致力于为客户提供全面的显微设备，涵盖从毫米到纳米级别的多个领域。我们的产品线包括样品制备设备、体式显微镜、数码显微镜、金相显微镜、平面度测试仪、3D表面轮廓仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜以及透明晶圆缺陷扫描仪。
此外，我们还提供专业的薄膜测量设备，包括透明/半透明薄膜的反射光谱测量仪、用于纳米级别测量的椭偏仪，以及针对不透光金属镀膜的X荧光光谱测量仪。
在光电测量设备领域，我们正在不断拓展我们的产品线，已代理的产品包括Sinton的少子寿命测试和Fluxim测量软件。
尺有所短寸有所长，每一个品牌，每一台设备亦如此。在客户的需求上，提供最适当的解决方案，是我们服务的宗旨。我们不仅仅是设备的销售商，更是为客户提供全方位解决方案的合作伙伴。
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