Microsense（美国KLA子公司） 高精度电容式位移传感器

-----原装进口，中国区总代理
 

一、优势简介：

Microsense的高精度电容式位移传感器具有一般非接触式仪器所共有的非接触式特点外，还具有信噪比高，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂等部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

二、特点：

1 近距离高精度非接触式位置测量

2 可达亚纳米级直至皮纳米级别分辨率，为世界上所有商用电容传感器中噪音性能***品牌

3 可基于无论是高稳定性和线性还是测量带宽而提供多种型号探头“应用定制化”的优化方案。

4 单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）可选

三、型号简介：

1 被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。

2 主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列

-----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!

6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承

机床主轴。

主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量（ run out measurement），如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动（NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

四、性能：

1）   测量距离--± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择

2）   高测量带宽（高频率响应）可选-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

3）   适用于任何接地，导电的目标--材料或表面光洁度对精度没有影响

4）   高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定

5）   5）线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定

五、应用：

           1 定位功能 ：

          1）用于伺服反馈传感器纳米定位器   

          2）快速机床私服系统定位

           2 距离和位移测量：   

          1）尺寸测量和检验    

          2）转轴位移测量

3 跳动测量：

1）精密马达和转轴的跳动测量

2）主轴计量与主轴跳动测量  

3）精密样品台的直线度和平面度测量

4 厚度测量 ：

1）磁性介质厚度测量

2）蓝光光盘模具厚度测量

5 自动对焦和调零：

半导体晶片表面检测（聚焦平面控制）

6 振动测量：

1）精密工作台振动测量  

2）传动轴振动测量  

3）主动隔震系统伺服反馈系统

【应用示例】

平面度测量：

直线度测量：

转轴跳动测量：