应用：
    对LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，提供全方位非接触式测量方案，样品从小至微米级别的微机电器件（MEMS），大到整个引擎部件，都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等精准数据
 
原理：
利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的。
 
特征：

• 高的垂直分辨率，强大的测量性能；

• 0.5~200倍的放大倍率；
• 任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程；
• 高分辨率摄像头；

 
◆  测量硬件的独特设计，增强生产环境中的可靠性和重复性；

• 较高的震动的容忍度和GR&R测量的能力
• 自动校准能力；

◆  多核处理器下运行的Vision64™ 软件，大大提高三维表面测量和分析速度

• 数据处理速度提高几十倍；
• 分析速度提高十倍；
• 大量数据无缝拼接能力；

 
◆  高度直观的用户界面，拥有强的实用性，操作简便和分析功能强大

• 优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程；
• 可视化操作工具；
• 可自行设置数据输出的界面；

 
部分选择项：
可编程控制150mm(6in)自动样品台
可选操纵手柄
可选高速聚焦；
可选缝合功能；
可选XY自动移动功能
参数：
XY样品台：              150mm（6in）手动样品，样品台±6°倾斜调整
Z方向聚焦：             计算机自动控制聚焦
光学组件模块：        最新一代双LED照明电源；自动视场目镜转台；自动滤波片切换；
物镜：                      可共焦物镜：2.5X，5X，10X，20X，50X；100X；
长焦物镜：1X，1.5X，2X，5X，10X；
     物镜搭台：               单物镜适配器或四位置自动塔台；
     处理器：                  多核，Windows® 7.0；
     系统软件：               Vision64 操作和分析软件；
     可选分析软件：         MATLAB®, SureVision, TCP/IP Control, ThickFilm, Annular, Optical
其他自动化：             标准自动光强设定；标准摄像头自动聚焦
校准：                   手动，使用可追溯标准样品；
Z方向扫描范围：          0.1nm至10mm
扫描速度：           0～28.1µm/sec
样品重量：          0～ 4.5kg (10lbs)
垂直方向分辨率：         <0.1nm  
RMS重复性：              0.01nm
反射率：                 <0.01 to 100%
台阶高度测量：           不确定度：0.75%；
                              重复性：<0.08% 1σ