诺德森 MARCH AP1000/AP600 等离子清洗机--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

诺德森 MARCH AP1000/AP600 等离子清洗机

英文名称：

国产/进口：

进口

产地/品牌：

美国/march

型号：

AP-1000

参考报价：

面议

销售商：

上海螣芯电子科技有限公司

总点击数：

21130

更新日期：

2025-06-02

产品类别：

其它各类仪器

性能参数

一、功能简介：

在微电子加工过程中，特别是在芯片贴装和丝线键合的过程中，需要对表面轻微有机污

染或氧化物进行清洗，在这种场合下，需要用等离子清洗的方法进行清洗。美国 MARCH 公

司的等离子清洗设备在以下器件的制造过程中能起到很好地清洗作用：光电器件、微波器件、

混合电路、MEMS 器件、RF 模块、功率器件、传感器、半导体器件、LED、分立元器件、纳米

器件、声表器件。

March AP-1000 等离子清洗系统，是专门设计适应 24 小时生产的严格要求的情况。此

系统提供统一的等离子体，具有优良的可靠性、安全性及操作简单等优点。

AP-1000 平台是完全独立的，因此要求最小的层空间。泵、处理腔体、电子控制和

13.56MHz 电源供应都被安装在一个单一的外壳内。前面开门使得存取组件都很便利。泵安

装在便于拆卸的滚筒上。

带有HTP（高吞吐量）架选项的AP-1000等离子系统结合了可靠性和生产品质，证明March

专利的 HTP 架的优势。AP-1000 HTP 优化在 RF 激励源产生的离子的应用，使在减少过程时

间的时候，提高处理的一致性。

AP-1000 HTP 允许选择一系列工艺气体，例如氩气、氢气和氦气等。它装备 4 个质量流

量控制器以达到最佳的工艺气体控制。

带有槽的 M/G 制具垂直安装在处理腔体中。出色的是，每块 M/G 制具可最小支撑 20 个

框架。处理腔体最多可装 12 个 M/G 制具，这有 M/G 制具的尺寸决定。

二、特征与优势

触摸屏的 PLC 控制，提供了形象的图形界面和实时过程显示；

实时显示工艺过程，数据时时可调, 可存 64 个程序；

四种清洗模式：强洗、弱洗、无电子清洗、取胶；

可用来清洗敏感，易粹器件；

灵活的支架结构允许处理多种部分，在水平或竖直模式下；

13.56MHz 的电源具有自动阻抗匹配功能，因此具有出色的过程重复性；

专利的控制软件系统为统计过程控制产生过程和产品的数据；

双重真空吸尘，强力清洗，铝制清洗室，免污染。

三、技术说明书

外壳：涂层铝，泵、电子控制、处理腔体、发生器全部安装在内

脚支架：697W×1513H×1127D（mm）

腔体：结构：不锈钢 11AWG，铝支

腔体尺寸：457W×457H×610D（mm）

可调整架最大数量：14

电源架工作规格：349W×425D（mm）

接地架工作规格：384W×425D（mm）

RF 功率：600W，固态自动调整（可升级为 1000W）

气体控制：4 个质量流量控制器

控制器：带触摸屏的 PLC 控制

泵系统：1415LPM（50CFM）带有油雾过滤器；

设备需求：电源 200～240VAC，25A

公司简介

上海螣芯电子科技有限公司
公司网址：www.tengxin-ch.com
联系方式：howie Lou 13122976482
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半导体工艺：磁控溅射/电子束蒸发/PECVD/光刻/ICP/RIE/晶圆键合机/涂胶/显影/去胶设备
半导体检测：晶圆AOI/AFM/台阶仪/三维光学轮廓仪/扫描电镜/薄膜应力设备/光刻胶厚度测试仪设备
封装工艺：粘片/引线键合/平行封焊/共晶烧结炉/等离子清洗设备
封装检测：x光机/推拉力测试仪/氦检漏仪/AOI设备
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