电子显微镜

BRUKER 台阶仪 DEKTAK XT

基本信息
产品名称:
BRUKER 台阶仪 DEKTAK XT
英文名称:
Profiler DEKTAKXT
国产/进口:
进口
产地/品牌:
BRUKER(原VEECO)
型号:
DEKTAK XT
参考报价:
总点击数:
5993
更新日期:
2011-10-12
产品类别:

性能参数

第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)

布鲁克 DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供无与伦比的重现性,重现性低于5Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰,更加巩固了其行业领先地位。通过整合其行业领先产品,DektakXT实现了最高性能。操作简易,从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代Dektak台阶仪能够在微电子,半导体,太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。
 
DektakXT
Specifications规格
测量技术探针轮廓技术
测量功能二维表面轮廓测量
可选三维测量/
样品视景可选放大倍率, 1 to 4mm FOV
探针传感器低惯量传感器 (LIS 3)
探针压力使用LIS 3传感器:1 15mg
低作用力(选配)使用N-Lite+低作用力传感器:0.03 15mg
探针选项探针曲率半径可选范围: 50nm25μm
高径比 (HAR)针尖:10μm x 2μm200μm x 20μm;
可按客户要求定制针尖
样品X/Y载物台手动 X-Y 平移:100mm (4 英寸)
机动X-Y 平移:150mm (6 英寸)
样品旋转台手动,360°旋转;
机动:360°旋转;
计算机系统 64-bit 多核并行处理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板显示器
软件 Vision64操作及分析软件;
应力测量软件;悬臂偏转;
缝合软件;三维扫描成像软件
减震装置减震装置可用
扫描长度范围 55mm (2英寸)
每次扫描数据点最多可达120,000数据点
最大样品厚度 50mm (2英寸) 最大晶圆尺寸 200mm (8英寸)
台阶高度重现性 <5Å, 1σ1μm台阶上
垂直范围 1mm (0.039英寸)
垂直分辨率最大1Å ( 6.55μm垂直范围下) 输入电压 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
温度范围运行范围20 25°C (6877°F)
湿度范围 ≤ 80%, 无冷凝
系统尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75);
附件:550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48)
公司简介
铂悦仪器(上海)有限公司

铂悦仪器自2004年成立以来,凭借与世界各大仪器知名品牌的战略合作关系,以及不断优化公司自身经营管理,提高服务质量,成为中国国内知名的仪器供应商。铂悦仪器所提供的产品均属于高科技行业,产品包括高精度的分析仪器、检测仪器和生产设备,以及配套的耗材和配件,这些产品广泛应用于工业、环境、食品、生物、地质、半导体、太阳能、医药、医疗器械、艺术考古、刑侦等各个领域并服务于各大院校、研究所、检测机构、及政府部门等。

铂悦仪器不仅拥有高品质的产品,更培养了专业的销售、应用支持和售后服务团队。本着客户至上的原则,从客户的实际需求出发,铂悦仪器为客户提供仪器销售,安装培训,应用支持,代检测服务及仪器短期租赁服务等综合解决方案,并提供持续而良好的售后服务,由此也获得了广大客户的信任与认可。


售后服务
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