亚纳米/纳米平移台（压电直推型）--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

亚纳米/纳米平移台（压电直推型）

英文名称：

国产/进口：

进口

产地/品牌：

昊量

型号：

纳米平移台

参考报价：

销售商：

上海昊量光电设备有限公司

总点击数：

1920

更新日期：

2025-05-15

产品类别：

其它各类仪器

性能参数

产品负责人：李工(William)
电话：156 1809 2363（微信同号）
邮箱：wentao-li@auniontech.com
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压电平移台是以压电陶瓷为驱动，以柔性铰链为导向，通过压电陶瓷的形变精确控制平台的移动。该平台可提供X、XY及XYZ等不同维度平台，行程最大可达1500微米。采用硅高精度位移传感器闭环反馈，使平台拥有毫秒级响应速度，亚纳米级的分辨率，并且拥有非常低的底噪。被广泛应用于，超分辨显微、光镊系统、原子力显微镜、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。

昊量光电推出的压电平台按维度可以提供以下产品：

1）单轴压电平台

单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品，主要包含X压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、一维快反镜。

①X轴压电平台

一维平台可提供不同行程、中空/非中空等不同类型的产品

型号	AUHS1	AUHS1H	AUC-X.100	AULF1	AUSLR
产品图片
行程(μm)	10/30/50/70/100	30/50/70/100	100	100/200/300	300/500/8001500
分辨率(nm)	0.01/0.03/0.05/0.07/0.1	0.03/0.05/0.07/0.1	0.1	0.1/0.2/0.3	0.3/0.5/0.8/1.5
重复精度（全行程）nm	0.02/0.06/0.1/0.14/0.2	0.06/0.1/0.14/0.2	0.2	0.2/0.4/0.6	0.6/1/1.6/3
本底噪声nm	0.001/0.003/0.005/0.007/0.01	0.003/0.005/0.007/0.01	0.01	0.01/0.02/0.03	0.03/0.05/0.08/0.15
传感器	硅传感器闭环反馈

②Z轴压电平台

型号	Z-stage	C-Z.100	Z-insert	Z-insert-K-TYPE	Z-insert-INC	LT-Z
产品图片
行程(μm)	5/10/25/50	100	100/200/300/500	100/200/300	100/200/300/500	100/200/300/500
分辨率(nm)	0.005/0.01/0.025/0.05	0.1	0.1/0.2/0.3/0.5	0.1/0.2/0.3	0.1/0.2/0.3/0.5	0.1/0.2/0.3/0.5
重复精度(nm)	0.01/0.02/0.05/0.1	0.2	0.2/0.4/0.6/1.0	0.2/0.4/0.6	0.2/0.4/0.6/1.0	0.2/0.4/0.6/1.0
本底噪声nm	0.0005/0.001/0.0025/0.005	0.01	0.01/0.02/0.03/0.05	0.01/0.02/0.03	0.01/0.02/0.03/0.05	0.01/0.02/0.03/0.05
传感器	硅传感器闭环反馈

③物镜扫描台

型号	FOCHS.100	FOC
产品图片
行程(μm)	100	100/200/300
分辨率(nm)	0.1	0.1/0.2/0.3
全行程重复精度(nm)	0.2	0.2/0.4/0.6
本底噪声nm	0.01	0.01/0.02/0.03
传感器	硅传感器闭环反馈

④一维快反镜

型号	TT1.5
产品图片
偏转角度(mrad)	5/10
分辨率(μrad)	0.005/0.01
全行程重复精度（μrad）	0.01/0.02
本底噪声（μrad）	0.0005/0.001
传感器	硅传感器闭环反馈

2）两轴压电平台

两轴压电平台可提供两个维度的平移和偏转主要包括XY压电平台和二维快反镜

①XY压电平台

型号	LFHS2	LTHS2	C2.100	LFS2	LT2	BIO2	LF2	MWP2.800
产品图片
行程(μm)	30/50/75	30/50/75	100	100	100/200/300	100/200/300	100/200/300	800
分辨率(nm)	0.03/0.05/0.075	0.03/0.05/0.075	0.1	0.1	0.1/0.2/0.3	0.1/0.2/0.3	0.1/0.2/0.3	0.8
重复精度（全行程）nm	0.06/0.1/0.15	0.06/0.1/0.15	0.2	0.2	0.2/0.4/0.6	0.2/0.4/0.6	0.2/0.4/0.6	1.6
本底噪声nm	0.003/0.005/0.0075	0.003/0.005/0.0075	0.01	0.01	0.01/0.02/0.03	0.01/0.02/0.03	0.01/0.02/0.03	0.08
传感器	硅传感器闭环反馈

②二维快反镜

型号	TT2.5
产品图片
偏转角度(mrad)	5/10
分辨率(μrad)	0.005/0.01
全行程重复精度（μrad）	0.01/0.02
本底噪声（μrad）	0.0005/0.001
传感器	硅传感器闭环反馈

3）三轴压电平台

产品图片	描述	行程
	LT3是一款三维平台，可提供100,200或300微米的行程。平台使用硅传感器厚度只有20mm，该平台很容易集成到倒置显微镜中	X-Y-Z 100μm 200μm 300μm
	BIO3是一款超低剖面的三维定位平台可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中	X-Y-Z 100μm 200μm 300μm
	LF3是紧凑型3轴压电平台，具有66mm方孔，X轴和Y轴行程范围为100μm，200μm或300μm，Z轴行程为50μm。建议要求小尺寸和通光孔时使用。	X-Y： 100μm 200μm 300μm Z： 50μm
	LFS3是一款3轴纳米定位平台，X，Y行程为100μm，Z行程20μm，通光孔径40 x 40 mm。	X-Y： 100μm Z： 20μm
	LFHS3是一款高速三轴纳米定位台，谐振频率高于2k，通光孔径达66x66mm，可实现高速扫描，阶跃时间可达2ms	X-Y： 75μm Z： 50μm
	LTTHS3是一款超薄高速三维定位平台，可配合任何倒置显微镜使用，可实现高速扫描	X-Y： 75μm Z： 50μm
	C3.100是一款紧凑型平台，是光纤对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品	X-Y-Z 100μm
	CUBE3是一款3轴紧凑型纳米定位平台，可沿X，Y和Z提供100或200μm的运动。其紧凑的设计使其成为光纤对准，双光子聚合，激光写入等应用的的理想工具	X-Y-Z 100μm 200μm
	SPM3平台是一个3轴超高速纳米定位平台，沿X和Y提供75μm的行程，两个轴上的共振频率高于2kHz。 SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围，谐振频率高达12.5kHz，当与高功率控制器一起使用时，SPM3.5的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此，SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计，例如原子力显微镜。	X-Y： 75μm Z： 5μm 10μm 25μm 50μm
	SPM3LR压电平台是3维定位平台，X轴和Y轴的位移为 100μm，200μm或300μm。 Z轴部分的行程最高可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此，SPM3LR载物台设计用于要求苛刻的计量应用，例如原子力显微镜。	X-Y： 100μm 200μm 300μm Z： 5μm 10μm 25μm 50μm

主要特点

主要应用

高分辨率（0.01nm）
大行程1500μm
高速度，谐振频率可达7000Hz
采用硅传感技术

超低底噪
柔性铰链导向

纳米刻蚀

超分辨显微镜

原子力显微镜
干涉测量
高速聚焦
自适应光学
超分辨显微镜
粒子追踪

公司简介

上海昊量光电设备有限公司是目前国内知名光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！

自2008年成立以来，昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销，致力于引进国外先进性与创新性的光电技术与可靠产品，为国内前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造!

目前，昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。近年来，我们也专注于前沿的细分市场，为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。

秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！

立足于光电产业，昊量光电始终坚持价值创造与创新，赢得客户与合作伙伴的认可，不断拓展业务领域的新边疆，立志打造国际一流的代理服务品牌！

上海昊量光电设备有限公司与国外多家知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系，代理品牌包括瑞士Zurich Instruments公司：瑞士Green TEG公司：美国Pranalytica公司：美国Meadowlark optics公司：美国Mesa Photonics公司：法国IXFiber公司：立陶宛WOP公司：英国Qioptiq公司：加拿大Excelitas公司：德国CeramOptec公司：英国Gooch&Housego;公司：美国CTI公司：德国INSION 公司：法国manlight公司：瑞典LC-Tec公司：美国Lincoln Laser公司：意大利Bright Solutions公司：英国Power Photonic公司：美国OptiGrate公司：法国Cristal Laser公司：美国BNS公司：加拿大Nüvü公司；：德国TEM Messtechnik GmbH公司：法国Alpao公司：日本吉奥马（GEOMATEC）公司：法国Oxxius公司：法国Photline公司：美国Hinds Instruments公司：美国Vixar公司：美国ConOptics公司：美国Iris AO公司：日本Japan cell公司：德国Cinogy公司：加拿大Photon etc公司：法国Leukos公司：法国Horus Laser公司：法国Aurea Technology 公司：法国Phasics公司：韩国Nanobase公司：俄罗斯Scontel公司：加拿大Photon Control公司：加拿大Attodyne公司：法国Resolution Spectra公司：法国NeThis公司，美国Longwave公司等。

上海昊量光电设备有限公司所代理产品均处于相关领域的发展前沿，包括：

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激光器

激光加工系统

· 飞秒激光加工系统

调制器

光学/激光测量设备

光谱仪及成像光谱仪

光纤/光纤器件

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光学部件

其他光电产品

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