桌面型纳米压印机
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光刻技术实际上是一种精密表面加工技术,它借助于一定波长的激光光源以及选择性的化学腐蚀和刻蚀技术把设计的微纳图案转移到硅基板上。但是随着集成电路功能和密度的提升传统的光刻技术已经难以满足当前对线宽越来越小的需求。但是打破衍射极限的大型光刻设备又极其昂贵。为了摆脱光学衍射极限和克服高成本的限制,一种操作简单,成本低廉的纳米压印技术产生了。纳米压印的技术核心是充分利用机械能将刚性模板上的图案转到抗蚀剂上,之后再借助溶脱、剥离、刻蚀等将图案转移到基板上。到目前为止压印技术已经发展出来多种类型,典型的包括热塑压印技术、紫外固化压印、微接触纳米压印、激光辅助纳米压印和滚轴式纳米压印技术等。
上海昊量光电设备有限公司推出的纳米压印机AU-CUI为热压印和紫外固化压印设备。
AU-CNI纳米压印机是一款桌面大小的纳米压印和热压成型的机器。它可以用于微米或纳米结构的压印成型。AU-CNI不但可以进行热压印还可以进行UV压印。
对于热压印首先设备通过施加压力使模板与基板紧密接触,加压范围最大可达到11bar,通常依据温度控制压印过程。温度最高可达到200℃,由于采用原位实时测量温度,因此控温精度可达到1℃。
UV曝光采用4个365nm的LED光源,组合光的功率可达到11.6W,LED的温度被实时检测,拥有过热保护功能,即使出现过热的现象也可以确保曝光剂量正确。
此外设备拥有简洁的操作软件。通过软件可以控制压印的温度、压力、曝光时间等参数。并且可以编辑并存储在该软件中。
AU-CUI其操作简单,功能强大,易于实现新的实验和非标准的加工。是纳米压印的完美工具。
Pressure | Imprint pressure from 0.3 - 11 bar overpressure |
Temperature | Up to 200ºC with control of +/- 1ºC |
UV exposure | UV led light with 365 nm wavelength and optical power of 11600 mW |
Vacuum | The imprint chamber can be evacuated down to pressure below 1 mbar |
Size of imprint chamber | Diameter of 100 mm and height of 20 mm (can be expanded up to 45 mm) |
Automated replication process | 1)Stamp and substrate are loaded manually 2)Replication process is fully automated and controlled through CNI software |
Software | Full process control and flexibility. Everything besides loading and unloading is handled by the software |
CNI customization | CNI can be modified to meet individual requirements |
On-line video instructions | On-line video installation and operation guides |
Optional | 1)Pressure booster to boost a lab compressed air supply from 3-5 bar to 6-10 bar 2)Training and/or installation by NILT personnel |
上海昊量光电设备有限公司是目前国内知名光电产品专业代理商,也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外,还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等工作。为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念!
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上海昊量光电设备有限公司与国外多家知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系,代理品牌包括瑞士Zurich Instruments公司:瑞士Green TEG公司:美国Pranalytica公司:美国Meadowlark optics公司:美国Mesa Photonics公司:法国IXFiber公司:立陶宛WOP公司:英国Qioptiq公司:加拿大Excelitas公司:德国CeramOptec公司:英国Gooch&Housego;公司:美国CTI公司:德国INSION 公司:法国manlight公司:瑞典LC-Tec公司:美国Lincoln Laser公司:意大利Bright Solutions公司:英国Power Photonic公司:美国OptiGrate公司:法国Cristal Laser公司:美国BNS公司:加拿大Nüvü公司;:德国TEM Messtechnik GmbH公司:法国Alpao公司:日本吉奥马(GEOMATEC)公司:法国Oxxius公司:法国Photline公司:美国Hinds Instruments公司:美国Vixar公司:美国ConOptics公司:美国Iris AO公司:日本Japan cell公司:德国Cinogy公司:加拿大Photon etc公司:法国Leukos公司:法国Horus Laser公司:法国Aurea Technology 公司:法国Phasics公司:韩国Nanobase公司:俄罗斯Scontel公司:加拿大Photon Control公司:加拿大Attodyne公司:法国Resolution Spectra公司:法国NeThis公司,美国Longwave公司等。
上海昊量光电设备有限公司所代理产品均处于相关领域的发展前沿,包括:
应用解决方案
激光器
激光加工系统
调制器
光学/激光测量设备
光谱仪及成像光谱仪
光纤/光纤器件
晶体
光学部件
其他光电产品
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实验室电子产品
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