国产薄膜应力测量仪-激光薄膜应力测试--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

国产薄膜应力测量仪-激光薄膜应力测试

英文名称：

国产/进口：

国产

产地/品牌：

国内

型号：

FST2000

参考报价：

销售商：

上海螣芯电子科技有限公司

总点击数：

9371

更新日期：

2025-12-14

产品类别：

其它各类仪器

性能参数

设备咨询联系：娄经理 13122976482
技术规格

参数

基本原理

激光曲率法 /基于Stoney公式

主要方法

采用5×5 激光点阵对样品进行扫描测量

635 nm波长/ 5mW

主要功能

自动测量计算曲率半径和薄膜应力

扫描模式

Mapping面扫模式（主要表征局部区域的薄膜曲率半径或应力分布）

L-D线扫模式（快速表征样品整体薄膜平均曲率半径或残余应力）

薄膜应力测试范围

5 MPa~5 GPa

曲率半径测试范围

2-200 m

曲率半径重复精度

＜1 % （曲率半径< 20 m），＜3 % （曲率半径 < 100 m）

扫描最小步长

0.1 mm

扫描最多点数

>1 万点

样品最大尺寸

M100型号：4 英寸

M200型号：8 英寸

样品最小尺寸

> 15*15 mm 样品

样品基片校正

可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式）

电源

110-220 VAC & 200 Watts Maximum

通讯连接端口

USB 3.0

工作温度

0~50 ºC

操作软件

可视化2D/3D显示

视窗界面/适用于Windows 7/Windows 10系统

操作电脑

标配台式一体机：显示器>21英寸，8G内存，Intel CPU，256G硬盘

外形尺寸

M100型号：～950×400×480 mm

M200型号：～1050×500×480 mm

重量

~40K g

质量保证

一年免费/终身维护

备注

以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们

公司简介

上海螣芯电子科技有限公司
公司网址：www.tengxin-ch.com
联系方式：howie Lou 13122976482
螣芯电子科技有限公司主要为半导体、微组装领域的客户提供设备集成和技术服务。目前公司拥有在半导体制造、微组装领域经验丰富的专业技术团队，主要服务于：
半导体工艺：磁控溅射/电子束蒸发/PECVD/光刻/ICP/RIE/晶圆键合机/涂胶/显影/去胶设备
半导体检测：晶圆AOI/AFM/台阶仪/三维光学轮廓仪/扫描电镜/薄膜应力设备/光刻胶厚度测试仪设备
封装工艺：粘片/引线键合/平行封焊/共晶烧结炉/等离子清洗设备
封装检测：x光机/推拉力测试仪/氦检漏仪/AOI设备
螣芯电子科技秉承为客户提供优质技术产品方案，不断优化业务结构和提升服务品质，持续为客户提供高品质服务。

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