薄膜热应力测试系统
世界顶级薄膜热应力测量系统（薄膜应力仪，薄膜应力计，薄膜应力测试仪），MOS多光束技术荣获美国专利技术！同时KSA公司荣获2008 Innovation of the Year Awardee！
该设备已经广泛被全球著名高等学府（如：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大学，中国计量科学研究院等）、半导体制和微电子造商（如IBM.，Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC，Nissan ARC,Nichia Glass Corporation）等所采用；
同类设备：
薄膜应力测试仪（薄膜应力测量系统，薄膜应力计）；
薄膜残余应力测试仪；
实时原位薄膜应力仪；
技术参数：
薄膜应力测量系统，薄膜应力测试仪，薄膜应力计，薄膜应力仪，Film Stress Tester, Film Stress Measurement System;
1.变温设计：采用真空和低压气体保护，温度范围RT~1000°C；
2.曲率分辨率：100km；
3.XY双向程序控制扫描平台扫描范围：200mm；300mm（可选）；
4.XY双向扫描速度：最大20mm/s；
5.XY双向扫描平台扫描最小步进/分辨率：2 μm ；
6.薄膜应力测量范围：5×105到4×1010dynes/cm2（或者5×104Pa to 4×109Pa）；
7.薄膜应力测量分辨率：优于0.1MPa;
8.测量精度：优于±0.1%；
9.测量重复性：优于0.1%；
主要特点：
1.专利技术：MOS多光束技术（二维激光阵列）；
2.变温设计：采用真空和低压气体保护，温度范围RT~1000°C；
3.样品快速热处理功能；
4.样品快速冷却处理功能；
5.温度闭环控制功能，保证极佳的温度均匀性和精度;
6.实时应力VS.温度曲线；
7.实时曲率VS.温度曲线；
8.程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全面积扫描；
9.成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力成像分析；
10.测量功能：曲率、曲率半径、薄膜应力、薄膜应力分布和翘曲等；
11.气体（氮气、氩气和氧气等）Delivery系统；
巨力科技有限公司专门经销欧美、日本等国家制造的先进科学仪器，为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。目前产品涵盖材料科学、微纳米技术、表面测量及表征、半导体、光伏和生命科学等领域。
主要产品：
纳米力学测量系统，纳米压痕仪，纳米划痕仪，显微压痕仪，显微划痕仪，摩擦仪，纳米摩擦仪，高温摩擦仪，真空型高温摩擦仪；
扫描霍尔探针显微镜，超低温扫描霍尔探针显微镜，超低温PPMS整合型原子力显微镜（扫描探针显微镜）；
光谱椭偏仪
d33测量仪，压电系数测试仪，精密压电测试仪；
薄膜应力测量系统,薄膜热应力测量系统，原位薄膜应力测试仪，薄膜残余应力测试仪；
RHEED 分析系统；
BandiT 测温系统；
沉积速率检测仪；
原子层沉积系统
电子束蒸发系统
热蒸发系统
超高真空蒸发系统
磁控溅射系统
分子束外延系统 MBE
有机分子束沉积 OMBD
等离子增强化学气相淀积系统 PECVD
电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 ECR-PECVD
碳纳米管生长系统
纳米碳制备CVD炉
表面等离子体共振(分析)仪SPR
太阳能电池量子效率测试系统/光谱响应测量系统/IPCE测量系统；
AAA级太阳光模拟器，全光谱太阳光模拟器，稳态太阳光模拟器；
单体测试仪，太阳能电池IV测试仪，半自动太阳能电池IV测试仪，全自动太阳能电池IV测试；
大面积组件太阳能模拟器及IV测试系统；
有机太阳能电池太阳光模拟器；
实验室太阳能电池IV测量系统；
太阳能电池片电致发光EL缺陷检测仪：
*手动型EL缺陷检测仪
*研发型自动式EL缺陷检测仪
*产线批量检测型EL缺陷检测仪（inline）
太阳能电池组件电致发光EL缺陷检测仪：
*全自动层压前组件EL缺陷检测仪（inline）
*全自动层压后组件EL缺陷检测仪（inline）
*半自动离线型组件EL缺陷检测仪
*手动型离线型组件EL缺陷检测仪
*电池片串焊组件EL检测仪
*便携式组件EL缺陷检测仪
霍尔效应测量系统；
深能级瞬态谱仪测量系统；
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