其它各类仪器

Obducat纳米压印EITRE® 3

基本信息
产品名称:
Obducat纳米压印EITRE® 3
英文名称:
国产/进口:
进口
产地/品牌:
Obducat
型号:
EITRE® 3
参考报价:
面议
总点击数:
1031
更新日期:
2020-12-04
产品类别:

性能参数

  Obducat公司成立于1989年,总部位于瑞典隆德,旋涂分公司位于德国拉多尔夫采尔。2000年,Obducat成为全球首家将纳米压印技术商业化的公司,拥有NIL安装基地。公司拥有SPT软压、STU紫外及热同时压印和IPS(TM)中间聚合物模版等技术。作为全球优质的纳米压印设备提供商,不断为全球的公司和科研院校提供可行、低成本、高效益的纳米压印生产及科研的全套解决方案。在发展和生产下一代的电子消费产品如:相机CMOS传感器、各种硬盘、存储介质、高亮度LED、平板显示器和下一代蓝光光盘等方面推波助澜。

 

纳米压印技术NIL(NanoImprint Lithography technology)类似于古代的印章,是一项图形转移和复制技术。1995年,普林斯顿大学纳米结构实验室Stephen Y.Chou教授通过机械力在涂有高分子材料的硅基板上等比例压印复制了模版上的纳米图案,其加工分辨率只与模版图案尺寸有关,而不受光刻最短曝光波长的物理限制,由此引出纳米压印技术。

 

 

纳米压印示意图

纳米压印流程图

 

     传统光刻技术是利用电子和光子改变光刻胶的物理化学性质,进而得到相应的纳米图形。NIL技术却可以不使用电子和光子,直接利用物理机理机械地在光刻胶上构造纳米尺寸图形。目前NIL技术已经可以制作线宽在5nm以下的图案。鉴于其技术优势,NIL可应用于微电子器件、信息存储器件、微反应器、微/纳机电系统、传感器、微/纳流控器件、生物医用界面、光学及光子学材料等众多领域。

 

 

 

 

纳米压印技术的应用领域

 

The EITRE® Nano Imprint Lithography (NIL) Systems offer a manual and affordable lithography solution, allowing pattern replication in the micro- and nanometer range. The embedded SoftPress® technology ensures excellent residual layer thickness control across the entire imprint area, enabling an accurate pattern transfer.

 




FULL AREA IMPRINT
 SOFTPRESS® TECHNOLOGY
 USER-FRIENDLY INTERFACE
 MULTIPLE IMPRINT PROCESS CAPABILITY
 WIDE RANGE OF CONFIGURATION POSSIBILITIES
SUB-20NM RESIDUAL LAYER THICKNESS

 

 

   

 

公司简介
冠乾科技(上海)有限公司,是专为用户提供先进可靠的设备及仪器技术的平台。我们致力于为客户更精准地把握工艺过程,得到精确的检测结果而服务。公司英文名,Grant Technology,Grant是“授予”的意思,是努力让冠乾科技公司能够成为您与科技设备的一个沟通平台,授予国际上最新最快的技术资讯,工艺方法,解决方案。 •工艺设备:真空镀膜机,ICP刻蚀机, IBE刻蚀机,纳米材料沉积,狭缝涂布仪等; •元素分析:原子吸收,气相色谱,液相色谱,气质联用,紫外分光光度计,红外光谱仪等; •材料表面分析:台阶仪,立体轮廓仪,原子力显微镜,激光干涉仪,激光测振仪; •力学分析:纳米压痕,划痕,摩擦磨损试验机等; •通用分析:光镜,扫描电镜等。

售后服务
相关视频
暂无

资料下载
暂无
联系方式
单位名称:
详细地址:
上海市浦东新区康桥工业园秀浦路800号50号楼1502室
qq:
联系电话:

021-20962769

Email:

在线询价
*姓名:
*单位:
职位:
*手机:
*邮箱:
地址:
*地区:
资料:
需要
不需要
报价:
需要
不需要
留言:
验证码:
我希望获得多家供应商报价
首页 我的账户 立即询价 电话咨询