ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统 -SI 500
基本信息
产品名称：
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统 -SI 500
英文名称：
SENTECH ICP-RIE -SI 500
国产/进口：
进口
产地/品牌：
欧洲
型号：
SENTECH ICP-RIE -SI
参考报价：
销售商：
总点击数：
2321
更新日期：
2025-10-15
产品类别：
性能参数
SENTECH ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统
-SI 500
SENTECH仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。
SI 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备，可满足III/V半导体和Si加工工艺领域的的灵活应用。
主要特点:
-SI 500
SENTECH仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。
SI 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备，可满足III/V半导体和Si加工工艺领域的的灵活应用。
主要特点:
- 高速率刻蚀
- 低损伤
- 高深宽比刻蚀
- 高工艺一致性
- 平板三螺旋天线式PTSA等离子源 (Planar Triple Spiral Antenna)
- 远程控制
- 应用领域：III-V半导体化合物，微光学，微系统
- SENTECH高级等离子设备操作软件
- 穿墙式安装方式
- 干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统
公司简介
上海银雀科技成立于 1998 年，成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前公司已经与众多微电子、半导体设备行业的国际知名企业建立了良好的合作关系；EVG（光刻、键合）、Bruker（微纳检测）、TESCAN（扫描电镜） 是其中几家重要的合作伙伴。
售后服务
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资料下载
暂无
联系方式
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详细地址：
上海市嘉定工业区叶城路
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qq：
1255610068
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联系电话：
0632-5976067
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