IQAligner® 自动化紫外线纳米压印光刻
基本信息
产品名称：
IQAligner® 自动化紫外线纳米压印光刻
英文名称：
IQ Aligner® Automated UV Nanoimprint Lithography System
国产/进口：
进口
产地/品牌：
奥地利
型号：
IQ Aligner®
参考报价：
0
销售商：
总点击数：
667
更新日期：
2025-06-05
产品类别：
性能参数
IQ Aligner® Automated UV Nanoimprint Lithography System
IQAligner® 自动化紫外线纳米压印光刻系统
用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印系统
技术数据
IQ Aligner UV-NIL系统允许使用直径从150 mm至300 mm的压模和晶片进行微成型和纳米压印工艺，非常适合高度平行地制造聚合物微透镜。该系统从从晶圆尺寸的主图章复制的软性图章开始，提供了混合和整体式微透镜成型工艺，可以轻松地将其与工作图章和微透镜材料的各种材料组合相适应。此外，EV Group提供合格的微透镜成型工艺，包括所有相关的材料专业知识。
EV Group专有的卡盘设计可为高产量大面积印刷提供均匀的接触力。配置包括从压印基材上释放邮票的释放机制。
特征
用于光学元件的微成型应用
用于全场纳米压印应用
三个独立控制的Z轴，可在印模和基材之间实现出色的楔形补偿
三个独立控制的Z轴，用于压印抗蚀剂的总厚度变化（TTV）控制
利用柔软的印章进行柔软的UV-NIL工艺
EVG专有的全自动浮雕功能
抵抗分配站集成
粘合对准和紫外线粘合功能
IQ对准器
技术数据
晶圆直径（基板尺寸）150至300毫米
解析度≤50 nm（分辨率取决于模板和工艺）
支持流程：柔软的UV-NIL，镜片成型
曝光源：汞光源
对准：≤±0.5微米
自动分离：支持的
前处理
涂层：水坑点胶（可选）
迷你环境和气候控制
可选的：
工作印章制作：支持的；
IQAligner® 自动化紫外线纳米压印光刻系统
用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印系统
技术数据
IQ Aligner UV-NIL系统允许使用直径从150 mm至300 mm的压模和晶片进行微成型和纳米压印工艺，非常适合高度平行地制造聚合物微透镜。该系统从从晶圆尺寸的主图章复制的软性图章开始，提供了混合和整体式微透镜成型工艺，可以轻松地将其与工作图章和微透镜材料的各种材料组合相适应。此外，EV Group提供合格的微透镜成型工艺，包括所有相关的材料专业知识。
EV Group专有的卡盘设计可为高产量大面积印刷提供均匀的接触力。配置包括从压印基材上释放邮票的释放机制。
特征
用于光学元件的微成型应用
用于全场纳米压印应用
三个独立控制的Z轴，可在印模和基材之间实现出色的楔形补偿
三个独立控制的Z轴，用于压印抗蚀剂的总厚度变化（TTV）控制
利用柔软的印章进行柔软的UV-NIL工艺
EVG专有的全自动浮雕功能
抵抗分配站集成
粘合对准和紫外线粘合功能
IQ对准器
技术数据
晶圆直径（基板尺寸）150至300毫米
解析度≤50 nm（分辨率取决于模板和工艺）
支持流程：柔软的UV-NIL，镜片成型
曝光源：汞光源
对准：≤±0.5微米
自动分离：支持的
前处理
涂层：水坑点胶（可选）
迷你环境和气候控制
可选的：
工作印章制作：支持的；
公司简介
上海银雀科技成立于 1998 年，成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前公司已经与众多微电子、半导体设备行业的国际知名企业建立了良好的合作关系；EVG（光刻、键合）、Bruker（微纳检测）、TESCAN（扫描电镜） 是其中几家重要的合作伙伴。
售后服务
相关视频
暂无
资料下载
暂无
联系方式
| 单位名称： |
|
详细地址：
上海市嘉定工业区叶城路
|
|
qq：
1255610068
|
|
联系电话：
0632-5976067
|
| Email： |
