其它各类仪器

膜厚仪 薄膜厚度测量仪 光学膜厚测量仪

基本信息
产品名称:
膜厚仪 薄膜厚度测量仪 光学膜厚测量仪
英文名称:
Film thickness measuring instrument
国产/进口:
进口
产地/品牌:
Thetametrisis
型号:
FR-Mic
参考报价:
200000
总点击数:
15772
更新日期:
2022-11-21
产品类别:

性能参数

膜厚仪FR-Mic是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化薄膜厚度测量解决方案,要求的光斑尺寸小到几个微米,如微图案表面,粗糙表面及许多其他表面。它可以配备一台专用计算机控 制的XY工作台,使其快 速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。品牌属于Thetametrisis。

Thetametrisis膜厚仪

Thetametrisis利用 FR-Mic薄膜厚度测量仪,通过紫外/ 可见/ 近红外可轻易对局部区域薄膜厚度,厚度映射,光学常数,反射率,折射率及消光系数进行测量。
【相关应用】
高校 & 研究所实验室
半导体制造
(氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻胶及其他半导体薄膜.)
MEMS 器件 (光刻胶, 硅膜等.)
LEDs, VCSELs
数据存储
阳极处理
曲面基底的硬镀及软镀
聚合物膜层, 粘合剂.
生 物医学(聚对二甲苯, 生 物膜/气泡壁厚度.)
还有许多…
【特点】
实时光谱测量
薄膜厚度,光学特性,非均匀性测量, 厚度映射
使用集成的,USB连接高品质彩色摄像机进行成像

Thetametrisis膜厚仪FR-Mic软件界面.jpg

【产品优势】
单击即可分析 (无需初始预测)
动态测量
包含光学参数 (n & k, color)
可保存测量演示视频录像
超过 600 种不同材料o 多个离线分析配套装置o 免费操作软件升级
【技术参数】

型号

UV/VIS

UV/NIR-EXT

UV/NIR-HR

DUV/NIR

VIS/NIR

DVIS/NIR

NIR

光谱波长范围(nm)

200–850

200–1020

200-1100

200–1700

370–1020

370–1700

900–1700

光谱仪像素

3648

3648

3648

3648&512

3648

3648&512

512

 

 

 

膜厚测量范围

5X-VIS/NIR

15nm–60μm

15nm–70μm

15nm–90μm

15nm–150μm

15nm–90μm

15nm–150μm

100nm–150μm

10X-VIS/NIR

10X-UV/NIR*

4nm–50μm

4nm–60μm

4nm–80μm

4nm–130μm

15nm–80μm

15nm–130μm

100nm–130μm

15X-UV/NIR*

4nm–40μm

4nm–50μm

4nm–50μm

4nm–120μm

20X-VIS/NIR

20X-UV/NIR*

4nm–25μm

4nm–30μm

4nm–30μm

4nm–50μm

15nm–30μm

15nm–50μm

100nm–50μm

40X-UV/NIR*

4nm–4μm

4nm–4μm

4nm–5μm

4nm–6μm

50X-VIS/NIR

15nm–5μm

15nm–5μm

100nm–5μm

测量n&k蕞小厚度

50nm

50nm

50nm

50nm

100nm

100nm

500nm

光源

氘灯&卤素灯(internal)

卤素灯(internal)

材料数据库

>600不同材料

*测量面积(收集反射或透射信号的面积)与显微镜物镜和 FR-uProbe 的孔径大小有关。

物镜

光斑尺寸(μm)

 

500μm孔径

250μm孔径

100μm孔径

5x

100μm

50μm

20μm

10x

50μm

25μm

10μm

20x

25μm

17μm

5μm

50x

10μm

5μm

2μm

【工作原理】​Thetametrisis膜厚仪FR-Mic工作原理.jpg

 *规格如有更改,恕不另行通知, 测量结果与校准的光谱椭偏仪和 XRD 相比较, 连续 15 天测量的标准方差平均值。样品:1um SiO2 on Si., 100 次厚度测量的标准方差,样品:1um SiO2 on Si.
 *超过 15 天的标准偏差日平均值样品:1um SiO2 on Si。
以上资料来自Thetametrisis,如果有需要更加详细的信息,请联系我们获取。

公司简介
岱美仪器技术服务(上海)有限公司(下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的国际性高科技设备分销商,主要为半导体、MEMs、光通讯、数据存储、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。
自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国大陆、香港、台湾、新加坡、泰国、马来西亚、菲律宾等地区。
主要产品包括有:晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、压力计、流量计、等离子电源、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、电容式位移传感器、振动样品磁强计 (VSM)、粗糙度检测仪、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、平面/球面大口径动态激光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管生长设备等。
岱美中国拥有八十多名训练有素的工程师,能够为各地区用户作出快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。
总部位于中国香港的岱美分别在新加坡、泰国、台湾、马来西亚、菲律宾及中国大陆(上海、东莞及北京)设立了分公司及办事处,以带给客户更快捷更**的销售及维修服务。
我们真诚希望和业界的用户互相合作,共同发展!!

售后服务
相关视频
暂无

资料下载
暂无
联系方式
单位名称:
详细地址:
上海市浦东金高路2216弄35号6幢306-308室
qq:
联系电话:

021-3861 3675

Email:

在线询价
*姓名:
*单位:
职位:
*手机:
*邮箱:
地址:
*地区:
资料:
需要
不需要
报价:
需要
不需要
留言:
验证码:
我希望获得多家供应商报价
首页 我的账户 立即询价 电话咨询