等离子清洗机 PICO 德国Diener
5L——10.6 L精密型等离子清洗机PICO可以组合成不同的模块系统,可以清洗所有类型的污染物及分解分子构成的残留污染物,增强材料表面的润湿性,是确保在 涂漆、粘接、印刷 或者 键合 时与结合配偶体 粘附 的前提条件。PICO也可用于各向异性和各向同性蚀刻。通过化学蚀刻进行各向同性蚀刻,通过物理蚀刻进行各向异性蚀刻。使用低压等离子体,可以改良具有不同涂层的工件。
产品功能:
清洗: 工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗,也可与特定气体发生化学反应从而被清洗,清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。
如:去除有机污染物,去除纳米级微粒,去除氧化层。
活化:工艺部件表面通过氧气或空气处理后,会在表面形成氧原子团,这样能使部件表面亲水性和表面张力提高,能使涂料和粘接剂更好的附着于上,提高其的粘合力和附着力。
如:PDMS键合,粘接前的预处理,涂装前的预处理,印刷前的预处理。
蚀刻:工艺部件表面通过特定气体达到精确溅射,表面材料被剥离,转变成气相被排出,溅射后的材料表面积增大并更易湿润,也使材料表面更粗糙化。通过改变工艺参数可使材料表面蚀刻出一定的形状。
如:硅蚀刻,PTFE/PFA/FEP蚀刻,光刻胶去除。
涂层:使工艺部件表面发生等离子聚合反应,前驱单体导入等离子真空腔室后使其电离并沉积至材料表面,随即发生聚合反应,形成聚合物层。
如:疏水层,亲水层,保护/阻隔层,干润滑层,疏油层。
具体应用:
- 去除部件封装(半导体)
- 支架(牙医)
- 心脏起搏器
- 传感器
- 精密驱动间
- 车大灯反射镜
- 摄像头
- 医疗器械
主要技术参数:
1.半自动控制
2.根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量等参数
3.双路工作气体,气体流量通过针型阀流量计控制
4.反应舱为高硼硅玻璃腔体,直径130mm, 长300 mm ,容积约为5L
5.发生器频率40KHz,功率0~200W
6.反射波自动调节
7.电极材质为铝
8.运行模式为手动
9.配套真空泵的排气能力为4m3/Hour,配有强制进气阀,国产飞越真空泵
10*配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
11.外尺寸:W560mm*D600mm*H460-860mm
12.电源电压:单相AC230V 16A