SPS 光刻机 POLOS μ
基本信息
产品名称：
SPS 光刻机 POLOS μ
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
德国/SPS
型号：
POLOS μ
参考报价：
销售商：
总点击数：
3092
更新日期：
2025-09-19
产品类别：
性能参数
产品概述
主要特点：
1、写入分辨率低至2 μm
2、可调整的写作领域和具有可互换目标的解决方案
3、与CAD文件或位图图像兼容
4、与g线光刻胶兼容
5、兼容多种基材（硅，玻璃，金属，塑料等）
6、兼容任何样品尺寸达4英寸的晶片
7、相机反馈以进行对准步骤
8、由于没有硬掩模，节省了时间和金钱
9、将设计直接覆盖在样品上的直观对齐方法
10、占地面积小的桌面
11、非常适合微电子，2D材料，微流体，光电，opty或任何其他2D微加工应用的技术
技术参数
1、光源曝光：435 nm； 对准：525 nm
2、最小特征尺寸：2至23 μm可调
3、对准分辨率：低至1 μm / cm2
4、最大曝光面积：75 x75 mm2
5、基板尺寸：最大4”晶圆
6、系统尺寸：W：（36厘米）； D：（36厘米）; 高：（60厘米）
7、多合一PC：Win 10、24英寸全高清
8、SFTprint软件：机器控制，步进重复，自动剂量测试，缝合，对齐
9、SFTconverter：将标准格式（gdsii，dxf，cif，oas）转换为位图图像。 随附的CAD软件
公司简介
上海迹亚国际是新加坡Gaia One International Pte Ltd在中国的子公司。该公司在实验室仪器设备行业有着超过20多年的历史和经验。与多家国际知名品牌有着战略合作伙伴关系。目前在中国的主要城市北京，广州，深圳都有办事机构。本着扮演桥梁角色的重任，服务于科技研究社区。
售后服务
相关视频
暂无
资料下载
暂无
联系方式
| 单位名称： |
|
详细地址：
上海市张江高科海趣路236号，#1221室
|
|
qq：
|
|
联系电话：
021-68779823
|
| Email： |
