AZ nLOF 2000电子束光刻胶
基本信息
产品名称：
AZ nLOF 2000电子束光刻胶
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
德国默克
型号：
AZ nLOF 2000
参考报价：
销售商：
总点击数：
1607
更新日期：
2022-05-16
产品类别：
性能参数
AZ®nLOF 2000系列电子束光刻胶，通过可调节的方式显影后使暴露的光刻胶保留下来。负轮廓及其高软化点使AZ®nLOF 2000成为适用于剥离工艺以及其他任何需要具有高的热稳定性光刻胶结构的工艺。
特征：
1) 极高的热稳定性：250°C以上温度不易变形；
2) 高度的化学稳定性
3) 电子束灵敏度可将快紫外和高分辨率电子束光刻技术结合起来。
4) 分辨率0.5um lift off 负性光刻胶，耐特高温；可用于RIE工艺
显影液
AZ ® EBR溶剂是用于稀释和边缘珠去除AZ的溶剂（PGMEA）去胶剂不含NMP,与所有常见的基材兼容，甚至可以溶解交联的AZ®nLOF 2070光刻胶膜 ；
去胶剂
通常，在非常厚或强烈交联的光刻胶膜的情况下，可能需要将这些去除剂加热至60-80°C，或进行超声波处理，以加快去胶速度。
特征：
1) 极高的热稳定性：250°C以上温度不易变形；
2) 高度的化学稳定性
3) 电子束灵敏度可将快紫外和高分辨率电子束光刻技术结合起来。
4) 分辨率0.5um lift off 负性光刻胶，耐特高温；可用于RIE工艺
显影液
AZ ® EBR溶剂是用于稀释和边缘珠去除AZ的溶剂（PGMEA）去胶剂不含NMP,与所有常见的基材兼容，甚至可以溶解交联的AZ®nLOF 2070光刻胶膜 ；
去胶剂
通常，在非常厚或强烈交联的光刻胶膜的情况下，可能需要将这些去除剂加热至60-80°C，或进行超声波处理，以加快去胶速度。
公司简介
武汉市洪山区莱博兹科学仪器经营部成立于2020年09月22日，注册地位于武汉市洪山区珞珈山大厦主楼15层1506室，法定代表人为高珍珍。经营范围包括网上销售：教学仪器仪表、五金产品、金属结构产品、办公用品、计算机及辅助设备、实验室化学试剂（不含有毒有害易燃易爆危险品）、实验室用品、塑料制品、实验室耗材；教学仪器仪表技术咨询服务。（涉及许可经营项目，应取得相关部门许可后方可经营）
售后服务
相关视频
暂无
资料下载
暂无
联系方式
| 单位名称： |
|
详细地址：
湖北省武汉市洪山区珞珈山大厦主楼15层1506室
|
|
qq：
3488598979
|
|
联系电话：
18221354817
|
| Email： |
