膜厚测量仪（测量厚度1nm~1.8mm）--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

膜厚测量仪（测量厚度1nm~1.8mm）

英文名称：

国产/进口：

进口

产地/品牌：

国外

型号：

MProbe系列

参考报价：

面议

销售商：

上海昊量光电设备有限公司

总点击数：

2351

更新日期：

2025-06-30

产品类别：

其它各类仪器

性能参数

膜厚测量仪（测量厚度1nm~1.8mm）

产品负责人：
姓名：魏工(David)
电话：185 0177 0670（微信同号）
邮箱：jiabin-wei@auniontech.com

美国Semisonsoft公司MProbe系列薄膜测厚仪测量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃级分辨率，非接触式无损快速测量。广泛应用在各种生产或研究中，比如测量薄膜太阳能电池的CIGS层，触摸屏中的ITO层等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。膜厚测量仪（测量厚度1nm~1.8mm）

测量原理：当指定波长范围的光照射到薄膜上时，从不同界面上反射的光相位不同，从而引起干涉导致强度相长或相消。而这种强度的振荡是与薄膜的结构相关的。通过对这种振荡拟合和傅里叶变换就可获得样品厚度和相关的光学常数。

比如：
半导体（硅，单晶硅，多晶硅）
半导体化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）
微电子机械（MEMS）
氧化物/氮化物
光刻胶
硬涂层（碳化硅，类金刚石炭）
聚合物涂层（聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）
高分子聚合物

MProbe膜厚测量仪操作简单，只需一键操作即可获得样品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚测量设备可支持不同光谱范围，光谱范围可达200-1700nm，因此可测量厚度范围可从1nm到2mm。设备中无移动组件，所以测量结果几乎是即时得到的；TFCompanion测量软件使得测量过程非常简单且透明，测量历史、动态测量、模拟、颜色分析、直接在样品图像上显示结果。膜厚测量仪（测量厚度1nm~1.8mm）

膜厚测量仪分类：
1、单点膜厚测量——MPROBE-20
MPROBE-20膜厚测量仪是一款台式单点膜厚测量设备，设备操作简单，一键获得样品的厚度和折射率，并可提供不同波段范围（适用于不同厚度薄膜）选择。MPROBE-20具有以下几种型号，客户可根据自己所需的波长范围和薄膜厚度进行选择。

可供选择型号：

型号	波长范围	核心配置	厚度范围
VIS	200nm -1100nm	F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos, 16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp	10nm – 75 μm
UVVISSR	700nm -1100nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp	1nm -75μm
VIS-HR	900nm-1700nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp	1μm-400μm
NIR	200nm-800nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	50nm – 85μm
UVVisF	200nm -1700nm	F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp	1nm – 5μm
UVVISNIR	1500nm-1550nm	F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	1nm -75μm
NIRHR	200nm -1100nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption	10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

2、单点手持膜厚测量——MPROBE HC
MPROBE HC膜厚测量仪是一款基于MPROBE-20平台开发专用于测量曲面和大型零件上的涂层，用手动探针代替样品台。

主要参数：

精度	0.01nm或0.01%
准确度	0.2%或1nm
稳定性	0.02nm或0.03%
聚焦点尺寸	0.2mm或0.4mm
样品尺寸	>25mm
厚度范围	0.05-70um

3、聚焦光斑膜厚测量仪——MPROBE 40
MPROBE 40是一款聚焦的小光斑膜厚测量系统，该产品将显微系统和膜厚测量设备结合起来，用于对膜厚的微区测量，光斑可达2μm。该设备集成相机和软件，可精确显示待测位置，并同时显示测量结果。

该设备有不同波长范围可选，可供选择的产品型号如下：

4、原位测量膜厚测量仪——MPROBE 50 INSITU
MPROBE 50 INSITU是一款支持原位测量膜厚测量仪，该设备采用门控数据采集方式因此可以在高环境光的条件下工作。此外该型号膜厚测量仪支持定制以满足不同形状的真空腔。根据可用的光学窗口，支持斜入射和垂直入射。光线可以聚焦样品表面或准直,探测探头可以放置在沉积室光学端口内部或外部，由于该膜厚测量仪没有移动部件，通常测量时间约10ms。

此外该型号还有多种波段范围可选，可供选择型号如下

5、支持Mapping的聚焦膜厚测量仪——MPROBE 60
MPROBE 60是一款聚焦并可做mapping的膜厚测量设备，重复精度可达0.01nm，精度可达1nm，mapping面积可达300*300mm。并支持多种波长范围可选。

可选波长型号：

6、在线膜厚测量仪——MProbe 70
MProbe 70是一款高性能膜厚测量仪，主要设计用于24/7生产线上的连续测量。该设备主要有两种配置一个是在产线上配备多个固定的探头，第二种是将探头装在扫描仪上扫描。

公司简介

上海昊量光电设备有限公司是目前国内知名光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！

自2008年成立以来，昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销，致力于引进国外先进性与创新性的光电技术与可靠产品，为国内前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造!

目前，昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。近年来，我们也专注于前沿的细分市场，为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。

秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！

立足于光电产业，昊量光电始终坚持价值创造与创新，赢得客户与合作伙伴的认可，不断拓展业务领域的新边疆，立志打造国际一流的代理服务品牌！

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上海昊量光电设备有限公司所代理产品均处于相关领域的发展前沿，包括：

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激光器

激光加工系统

· 飞秒激光加工系统

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光学/激光测量设备

光谱仪及成像光谱仪

光纤/光纤器件

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光学部件

其他光电产品

探测器/光子计数器

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相机

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