国产SU-8 2075光刻胶
简介:
中芯启恒SU-8 2000系列光刻胶是负性光刻胶,采用环戊酮溶剂配制而成,在超厚度胶膜涂布工艺中,图案化的结构有较好的稳定性和高分辨率,其膜厚范围比任何其他市售光刻胶更广泛,单次旋涂工艺胶膜厚度可选1-300um范围,可根据需要进行多次旋涂,从而获得更厚的胶膜。自2019年推出后,受到了同行业客户的青睐,在MEMS微加工领域占据越来越多的市场份额。
中芯启恒SU-8 2000系列光刻胶根据粘度不同,划分为以下型号:
备注:不同膜厚可通过调节匀胶机转速获得,因客户实验设备不同,实际参数需进行微调。