生物芯片处理

晶圆缺陷检测系统

基本信息
产品名称:
晶圆缺陷检测系统
英文名称:
国产/进口:
进口
产地/品牌:
日本列真
型号:
LODAS
参考报价:
总点击数:
1390
更新日期:
2023-01-07
产品类别:

性能参数
晶圆缺陷检测系统LODAS

可一次性检查第三代半导体 SIC 等材料表面,背面和内部的缺陷,可探测最小缺陷为100 纳米,主要用于半导体光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查 。

  
晶圆缺陷检测仪LODAS

列真公司在半导体光罩检测设备上积累了独自技术, 主产品 LODAS ™系列具有日本专利权的激光检测技术,可同时探测收集激光的反射光,透射光以及共聚焦,可一次性检查第三代半导体 SIC 等材料表面,背面和内部的缺陷,可探测最小缺陷为100 纳米,主要用于半导体光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查 。将此项技术运用于第三代半导体材料的缺陷检查,将提升量产成品率将具有重要意义。

应用: SiC、GaN 

        半导体光罩(石英玻璃与涂层)、

        石英Wafer    Si Wafer  

        HDD Disk LT Wafer 

        蓝宝石衬底、

        EUV光罩、

        光罩防尘膜

 

  可全面检测 表面、内部、背面的缺陷

    外延缺陷

    胡萝卜型缺陷

    彗星缺陷

    三角缺陷

    边缘缺陷

 

    衬底缺陷

    微管缺陷

    层错缺陷

    六方空洞缺陷

 

公司简介
北京欧屹科技有限公司(欧屹科技),是一家提供激光,光电,半导体仪器设备的高科技企业。
欧屹科技代理,经销的产品内容广泛,我们在激光耦合、光束变换、半导体激光器、皮秒飞秒激光器及加工系统、探测器等光电器件、材料应力检测、半导体晶圆加工及检测、等离子光谱检测产品广泛应用于教学,科研,产品开发及规模生产中。十几年来,欧屹科技不断为用户提供世界上最先进的仪器设备及配套解决方案,使得每一位用户都能获得持久的收益。
欧屹科技凭借自身的专业技术能力,优秀的服务,已经与世界多家制造企业建立长期的战略合作,如德国LIMO、德国耶拿集团、德国SPETEC、美国Edmund、美国Sonicor、日本Ryokosha、日本Photonic Lattice、日本APCO、日本NMPT、韩国NONA TECH,台湾OPTIVU等。我们提供的不仅仅是先进的产品,而是更注重客户最真实的需求是什么,针对用户的技术需求,从咨询开始到技术方案确定,到项目实施,到售后的安装,到技术培训,到未来的系统的升级改造,我们全都考虑到,并为客户落实到位,确保我们客户的每一笔资金都花在刀刃上,为客户带来切实的,长期的益处。
专业服务创造价值,我们专注为客户服务且与合作伙伴一起为您服务,请联系我们吧,我们将会给您满意的答案!

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