一:产品参数
- 产品名称:微型真空探针热台
- 产品型号:KT-0904T-RL
- 产品品牌:郑科探 Zhengketan
- 生产厂家:郑州科探仪器设备有限公司
二:功能要求
探针台主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面,台面可升温到-190~400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调节,其中X方向调节范围:0-13mm,y方向调节范围:0-13mm;z方向调节范围:0-13mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测
三:主要技术要求
- 类型:高低温型:-190~400℃
- 腔体材质:304不锈钢
- 腔体内尺寸:φ90x40mm
- 腔体上视窗尺寸:Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm)
- 腔体抽气口:KF16
- 腔体进气口:公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
- 腔体出气口:公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
- 腔体正压:≤0.05MPa
- 腔体真空度:机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟)
- 样品台材质:304不锈钢
- 样品台尺寸:26X26mm
- 样品台-视窗 距离:30mm(可选凹视窗间距15mm)
- 样品台测温传感器:A级PT100铂电阻
- 样品台温度:室温到-190~350℃(可选高温样品台 高温400℃)
- 样品台测温误差:±0.2℃
- 样品台变温速率:高温10℃/min 低温5℃/min 最大值
- 温度显示:7寸人机界面
- 温控类型:标准PID温控 +自整定(可选30段编程控温)
- 温度分辨率:0.1℃
- 温控精度:±0.5℃
- 温度信号输入类型:PT100热电阻 (可选 K S B型热电偶)
- 温控输出:直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷)
- 辅助功能:温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线
- 电信号接头:配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
- 电学性能:绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
- 探针数量:4探针(可定做6探针)
- 探针材质:镀金钨针
- 探针尖:10μm
- X轴移动行程:12mm ±6mm
- X轴控制精度:≤5μm
- Y轴移动行程:12mm ±6mm
- Y轴控制精度:≤5μm
- Z轴移动行程:12mm ±6mm
- Z轴控制精度:≤5μm
- 显微镜类别:物镜放大+电子放大
- 显微镜放大倍数:100倍
- 显微镜工作间距:50-150mm
- 相机分辨率:1080P 60帧
- 相机信号输出:HDMI输出+USB输出
- LED可调光源:LED光源
- 显示屏:5寸 屏幕一体机
四:主要配置要求
1.1台 · KT-0904T-RL微型探针台一台
2.1台 · 触摸屏温控箱
3. 1个· 6mm聚四氟管
4. 1根 电源线
5: 2个 6mm金属内衬
6: 1根 触摸屏笔
7: 4个 SMA-香蕉插头
8: 1根 功率输出线
9: 6米 6mm水冷管
10: 1套 K型上盖扳手、备用螺丝,内六角
选配: 分子泵真空机组 机械泵 电子显微镜