真空镀铜蒸镀仪
郑科探小型蒸镀仪
-热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源；
-腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；
-泵：前级干泵，分子泵；
工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存；-
衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；
- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；
- 保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果；
1.镀铜：打底用，增进电镀层附着能力，及抗蚀能力。
2.镀镍：打底用或做外观，增进抗蚀能力及耐磨能力，(其中化学镍为现代工艺中耐磨能力超过镀铬)。
3.镀金：改善导电接触阻抗，增进信号传输。
4.镀钯镍：改善导电接触阻抗，增进信号传输，耐磨性高于金。
5.镀锡铅：增进焊接能力，快被其他替物取代(因含铅现大部分改为镀亮锡及雾锡)。铜颗粒
。
铜颗粒
真空镀铜蒸镀仪KT-Z1650CVD镀样品
真空镀铜蒸镀仪KT-Z1650CVD技术资料
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控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
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加热方式 |
数字式功率调整器 |
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镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
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最大功率 |
≤1200W |
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最大输出电压电流 |
电压≤12V 电流≤120A |
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真空度 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
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挡板类型 |
电控 |
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真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
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样品台 |
可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） |
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样品台转速 |
8转/分钟 |
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样品蒸发源调节距离 |
70-140mm |
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蒸发温度调节 |
≤1800℃ |
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支持蒸发坩埚类型 |
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
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预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
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可选配扩展 |
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |
技术支持&服务：
1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出最优的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。
2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）
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详细地址：
郑州高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层73号
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