真空设备应用气体质量流量控制器美国ALICAT--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

真空设备应用气体质量流量控制器美国ALICAT

英文名称：

国产/进口：

进口

产地/品牌：

美国 ALICAT

型号：

MCV

参考报价：

销售商：

北京芯笙微纳电子科技有限公司

总点击数：

160

更新日期：

2022-07-01

产品类别：

蠕动泵/恒流泵

性能参数

真空设备应用气体质量流量控制器美国ALICAT MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下：与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快，外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。

MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。

多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

真空设备应用气体质量流量控制器美国ALICAT性能

可用量程：最大0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（最大值，氦气）
无需预热时间

真空设备应用气体质量流量控制器美国ALICAT 工作条件

兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包装清单：

公司简介

北京芯笙微纳电子科技有限公司当人类观察这个世界时，会发现自己生活在一个充满各种流体的世界。人们的生活被流体笼罩，人类自身也离不开流体。鹰击长空、鱼翔浅底；许许多多的现象都与流体有关。生活中的很多事物都在经意或不经意间巧妙地掌握和运用了流体力学的原理。人类为了更好的掌握流体的运动过程，需要对其进行精确科学的观测。而测量、控制这些气体与液体对于当今社会与工业的发展不可或缺，也可以说是人类永恒的课题

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