生物芯片处理

MicroResist紫外固化光刻胶

基本信息
产品名称:
MicroResist紫外固化光刻胶
英文名称:
国产/进口:
进口
产地/品牌:
德国MicroResist
型号:
OrmoComp® Ormo
参考报价:
总点击数:
8801
更新日期:
2025-06-01
产品类别:

性能参数
负性光刻胶
用于紫外线(掩模对准器、激光)、深紫外线和电子束光刻
正性光刻胶
用于紫外线、激光光刻和灰度图案化
混合聚合物
用于微光学和纳米光学应用
纳米压印光刻胶
用于热和紫外线纳米压印光刻
喷墨材料
用于喷墨打印的功能材料
辅助设备
高性能材料供应商
用于创新光刻胶、聚合物、光聚合物
和辅助设备
产品概述
• 消费者 • 传感器 • 生命科学 • 显示器 • 光子学 • 光电子学
白皮书
© micro resist technology GmbH | 10/2023 www.microresist.com 2
用于 UV(掩模对准器、激光)/ DUV 和电子束光刻的光刻胶
• 适用于宽带、i 线、深 UV、电子束曝光或 405 nm 的激光直写
• 剥离光刻胶具有可调图案轮廓,高温稳定性高达 160 °C
• 在一个旋涂步骤中为不同膜厚提供各种粘度
产品系列 材料类别 兼容工艺
首选应用
独特功能
ma-N 1400 芳香族双叠氮化物/酚醛清漆,非 CAR
UV 掩模对准器、激光和步进光刻
单层剥离、蚀刻掩模、用于电镀水碱性显影的模具,热稳定性高达 110°C,易于去除
ma-N 400 芳香族双叠氮化物/
novolak,非 CAR
UV 掩模对准器,激光
和步进光刻
单层剥离,
蚀刻掩模,用于
电镀
水-碱性
显影的模具,热稳定性高达 160°C,
易于去除
ma-N 2400 芳香族双叠氮化物/
novolak,非 CAR
电子束,深紫外
光刻
蚀刻掩模水-碱性
显影,坚固且
易于处理,易于
去除
mr-DWL 环氧树脂,CAR UV 掩模对准器,激光
和步进光刻,
2PP
用于电镀的模具,
复制母版,蚀刻掩模
感光度高达
410 nm,用于图案转移工艺和
永久应用
EpoCore 和 EpoClad 环氧树脂,CAR UV 光刻聚合物基
波导,模具用于
电镀、复制母版、蚀刻
掩模
对可见光高度透明、高
热稳定性、用于
图案转移工艺
和永久
应用
mr-EBL 6000 环氧树脂、CAR 电子束、
UV 光刻
用于图案转移工艺和永久
应用的蚀刻掩模
负性光刻胶
白皮书
© micro resist technology GmbH | 10/2023 www.microresist.com 3
用于
UV 光刻的正性光刻胶(掩模对准器、激光、
灰度曝光)
• 一次旋涂步骤即可获得 0.1 μm – 60 μm
膜厚的各种粘度
• 适用于宽带、g 线、h 线
或 i 线曝光和
350…450 nm 的激光直写
• 无需曝光后烘烤
• 易于去除
产品系列 材料类别 兼容
工艺
首选
应用
独特功能
ma-P 1200G DNQ/ novolak 灰度光刻、
UV 光刻、
激光干涉
光刻
UV 成型、电镀、
干法蚀刻
• 微光学、MEMS
和 MOEMS、晶圆级
光学、微流体中的 2.5D 结构
1-60 μm 膜厚
旋涂、
水碱性
显影、
易于去除、
用于图案转移
ma-1200 DNQ/ 诺伏拉克 UV 光刻 干法蚀刻、离子
注入、电镀、
图案回流
+ UV 成型
•LED、微系统、
半导体元件、
微光学
0.3-40 μm 膜厚
通过旋涂、
水碱性
显影、
易于去除、
用于图案转移
ma-P1275HV DNQ/ 诺伏拉克 UV 光刻 电镀、干法蚀刻、离子
注入、
图案回流 +
UV 成型
•微系统、微光学
10-50 μm 膜厚
通过旋涂、
水碱性
显影、
易于去除、
用于图案转移
mr-P 1200 LIL DNQ/ novolak 激光干涉
光刻,
紫外光刻
干法蚀刻,电镀
•层状网格,
VSL 网格
0.1-0.5 μm 膜厚
旋涂,
水碱性
显影,
易于去除,
用于图案转移
正性光刻胶
白皮书
© micro resist technology GmbH | 10/2023 www.microresist.com 4
用于
微光学应用的紫外固化混合聚合物。
• 出色的透明度
• 出色的机械性能
• 高化学和物理稳定性
• 出色的复制保真度
• 即用型解决方案
产品系列 材料类别 兼容工艺
首选应用
独特功能
OrmoComp® 含硅丙烯酸酯官能化前体聚合物
UV 成型、UV 光刻、2PP、3D 打印
微和纳米光学设备(例如微透镜、DOE、光栅)
极高的温度和气候稳定性、PDMS 兼容性
OrmoStamp® 含硅丙烯酸酯官能化前体聚合物
UV 成型 工作印章制造
固有释放特性、出色的图案保真度,低至 100nm 以下的特征
OrmoClear®FX 含硅丙烯酸酯官能化前体聚合物
UV 成型、UV 光刻、2PP
微和纳米光学设备(例如微透镜、 DOE、光栅)、
微流体
高温和
气候稳定性、PDMS
兼容性
OrmoClear® 系列含硅丙烯酸酯官能化
前体
聚合物
UV 成型、UV 光刻、
2P
公司简介

我们提供世界著名品牌的百万种优质产品: 

部分仪器>

三维细胞组织培养系统 
微囊发生器 
微量注射器、助吸器
转定子式均质器、碾槌式匀质器、混涡混合器、旋转器、细胞破碎器、振荡器、搅拌器 
加热套

吸入暴露系统/气溶胶发生器


售后服务
所售仪器类商品,保修一年,终身维修。
相关视频
暂无

资料下载
暂无
联系方式
单位名称:
详细地址:
上海市徐汇区云锦路500号绿地汇中心A座809,在中国主要城市有销售支持,见www.equl.cn
qq:
2380088352, 390113670
联系电话:

上海:021-64280805

22817530

Email:

在线询价
*姓名:
*单位:
职位:
*手机:
*邮箱:
地址:
*地区:
资料:
需要
不需要
报价:
需要
不需要
留言:
验证码:
我希望获得多家供应商报价
首页 我的账户 立即询价 电话咨询