磁控溅射设备 NSC-4000(A)自动磁控溅射系统
基本信息
产品名称：
磁控溅射设备 NSC-4000(A)自动磁控溅射系统
英文名称：
国产/进口：
进口
产地/品牌：
美国 那诺-马斯特
型号：
NSC-4000（A）
参考报价：
销售商：
总点击数：
2071
更新日期：
2025-06-05
产品类别：
性能参数
NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6"旋转平台，支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000（A）带有14”立方形不锈钢腔体，4个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统产品特点：
- 不锈钢腔体
- 260l/s或350l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
- 13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
- 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 带观察视窗的腔门易于上下载片
- 基于LabView软件的PC计算机控制
- 带密码保护功能的多级访问控制
- 完全的安全联锁功能
- 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
选配项：
- RF、DC溅射
- 热蒸镀能力
- RF或DC偏压（1000V）
- 样品台可加热到700°C
- 膜厚监测仪
- 基片的RF射频等离子清洗
应用：
- 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
- 光学以及ITO涂覆
- 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
- 带RF射频等离子放电的反应溅射
公司简介
那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月，是服务大中华区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室，提供销售和售后技术服务。 那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国，该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司，是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。 自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备，正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商，已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员，使得公司拥有一流的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商，我们的目标是提供高品质的服务并始终维持最高水平的集成度。
售后服务
品质：提供优质的产品和服务，同时通过持续的改进保证对品质的个人所有权。我们选择最好的人选参与到我们的工作，员工均具有丰富的领域经验。
承诺：致力于客户的成功。并且伴随按时、按规格、控制预算成本。开发、成长和繁荣以保持竞争水平，并能够以最好的方式服务我们的客户和我们的社区。
创新：我们识别、开发并部署最前沿的技术、员工发展计划和过程改进工具。我们认识到创新与效率、产能和品质之间的密切关系。
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